Fluoro Mechanic F001-Z-02-VP Vespel®真空吸杆（Teflon®笔身/5英寸晶圆/夹头卡盘接头）Fluoro Mechanic F001-Z-02-VP Vespel®真空吸杆（Teflon®笔身/5英寸晶圆/夹头卡盘接头）产品概述：Fluoro Mechanic F001-Z-02-VP是一款专为125mm（5英寸）半导体晶圆处理设计的真空吸杆。笔身采用Teflo
Fluoro Mechanic F001-Z-02-VP是一款专为125mm（5英寸）半导体晶圆处理设计的真空吸杆。笔身采用Teflon®材质，吸头采用Vespel®材质，具有优异的耐高温、耐磨损和低释气特性。
该型号为常闭（NC）阀门设计，夹头卡盘接头（Z型）提供稳固的连接方式，适用于高温工艺、真空环境等苛刻条件下的晶圆处理。
一、Vespel®吸头（02-VP）
材质：Vespel®（聚酰亚胺），杜邦公司高性能工程塑料
特性：褐色，硬质，耐高温（长期300°C）、耐磨损、低释气
应用：适用于高温工艺环境、真空环境及需要高耐磨性的晶圆处理
二、常闭（NC）阀门类型
阀门类型：NC（常闭型）
操作方式：按压吸杆上端的按钮以吸取晶圆，松开则释放
适用于需要精确控制吸取/释放的操作流程
三、Teflon®笔身
材质：Teflon®（PTFE），表面光滑且不粘附，耐化学性优异
笔身材质柔软，可弯曲，有效防止对晶圆的冲击
适用于对表面质量要求极高的晶圆处理
四、夹头卡盘接头（Z型）
连接类型：夹头卡盘接头（Collet Chuck Joint）
提供稳固的连接方式
适合需要牢固固定的操作场景
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | F001-Z-02-VP |
| 品牌 | Fluoro Mechanic（福乐/FLUORO） |
| 适用晶圆尺寸 | 5英寸（125mm） |
| 阀门类型 | NC（常闭型） |
| 接头类型 | 夹头卡盘接头（Z型） |
| 笔身材质 | Teflon®（PTFE） |
| 吸头材质 | Vespel®（聚酰亚胺，褐色） |
| 长度 | 224mm |
| 重量 | 约33g |
| 笔身编码 | F001-Z（含110） |
| 吸头编码 | 02-VP |
耐高温：可长期在300°C环境下使用，适用于高温工艺
耐磨损：优异的耐磨性能，使用寿命长
低释气：适用于真空环境，不会污染腔体
尺寸稳定：在高温下保持良好的尺寸稳定性
| 型号 | 阀门类型 | 吸头材质 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| F001-Z-02-3F | NC（常闭） | PCTFE | 低温/强腐蚀，精确控制 |
| F001-Z-02-PK | NC（常闭） | PEEK | ESD防护，精确控制 |
| F001-Z-02-VP | NC（常闭） | Vespel® | 高温/真空，精确控制 |
| F002-Z-02-3F | NO（常开） | PCTFE | 低温/强腐蚀，快速操作 |
| F002-Z-02-PK | NO（常开） | PEEK | ESD防护，快速操作 |
| F002-Z-02-VP | NO（常开） | Vespel® | 高温/真空，快速操作 |
| F003-Z-02-3F | NO+SW | PCTFE | 低温/强腐蚀，带开关 |
| F003-Z-02-PK | NO+SW | PEEK | ESD防护，带开关 |
| F003-Z-02-VP | NO+SW | Vespel® | 高温/真空，带开关 |
| 项目 | PEEK（02-PK） | Vespel®（02-VP） | PCTFE（02-3F） |
|---|---|---|---|
| 材质 | 导电PEEK | Vespel® | PCTFE |
| 颜色 | 黑色 | 褐色 | 透明/半透明 |
| 耐温性 | ~260°C | 300°C（长期） | -200°C |
| 导电性 | 导电（ESD防护） | 非导电 | 非导电 |
| 适用场景 | 常温ESD敏感 | 高温/真空 | 低温/强腐蚀 |
| 系列 | 接头类型 | 长度 | 重量 | 适用晶圆 |
|---|---|---|---|---|
| C系列（X型） | 球状旋转接头 | 239mm | 23g | 5英寸 |
| F系列（Z型） | 夹头卡盘接头 | 224mm | 33g | 5英寸 |
5英寸半导体晶圆的搬运与转移
高温工艺中的晶圆处理
真空环境（如镀膜设备、PVD/CVD）中的晶圆操作
对低释气有要求的洁净室操作
笔身和吸头需要分别订购：请同时订购笔身（F001-Z，含110）和吸头（02-VP）
建议配合专用真空泵使用
Vespel®为非导电材质，如需ESD防护请选择PEEK吸头（02-PK）
