Fluoro Mechanic F001-Z-02-3F PCTFE真空吸杆（Teflon®笔身/5英寸晶圆/夹头卡盘接头）

产品概述：

Fluoro Mechanic F001-Z-02-3F是一款专为125mm（5英寸）半导体晶圆处理设计的真空吸杆。笔身采用Teflon®材质，吸头采用PCTFE材质，具有优异的耐低温、耐化学腐蚀和低气体渗透性。

该型号为常闭（NC）阀门设计，夹头卡盘接头（Z型）提供稳固的连接方式，适用于需要精确控制吸取/释放的操作流程。

核心特性：

一、PCTFE吸头（02-3F）

• 材质：PCTFE（聚三氟氯乙烯，Kel-F®）

• 特性：透明/半透明，硬质，耐低温（低至-200°C）、优异的耐化学腐蚀性、极低气体渗透性

• 应用：适用于低温工艺环境、强腐蚀性介质接触、需要低渗透性的精密元器件处理

二、常闭（NC）阀门类型

• 阀门类型：NC（常闭型）

• 操作方式：按压吸杆上端的按钮以吸取晶圆，松开则释放

• 适用于需要精确控制吸取/释放的操作流程

三、Teflon®笔身

• 材质：Teflon®（PTFE），表面光滑且不粘附，耐化学性优异

• 笔身材质柔软，可弯曲，有效防止对晶圆的冲击

• 适用于对表面质量要求极高的晶圆处理

四、夹头卡盘接头（Z型）

• 连接类型：夹头卡盘接头（Collet Chuck Joint）

• 提供稳固的连接方式

• 适合需要牢固固定的操作场景

产品规格：

Z系列（夹头卡盘接头）5英寸型号对比：

各材质吸头对比：

5英寸晶圆用吸杆尺寸对比：

Fluoro Mechanic F001-Z-02-3F PCTFE真空吸杆（Teflon®笔身/5英寸晶圆/夹头卡盘接头）

Fluoro Mechanic F001-Z-02-3F PCTFE真空吸杆（Teflon®笔身/5英寸晶圆/夹头卡盘接头）

典型应用场景：

• 5英寸半导体晶圆的搬运与转移

• 低温工艺中的晶圆处理

• 强腐蚀性化学环境的晶圆操作

• 需要极低气体渗透性的真空操作

• 对低释气有要求的洁净室操作

注意事项：

• 笔身和吸头需要分别订购：请同时订购笔身（F001-Z，含110）和吸头（02-3F）

• 建议配合专用真空泵使用

• PCTFE为非导电材质，如需ESD防护请选择PEEK吸头（02-PK）

综合价值：

Fluoro Mechanic F001-Z-02-3F PCTFE真空吸杆通过Teflon®笔身提供柔软、不损伤晶圆的处理体验，PCTFE吸头（02-3F）提供优异的耐低温（-200°C）、耐化学腐蚀和极低气体渗透特性，常闭（NC）阀门提供精确的吸取/释放控制，夹头卡盘接头（Z型）提供稳固的连接方式，是5英寸晶圆在低温、强腐蚀环境等苛刻条件下精密处理的理想工具。