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Fluoro Mechanic C002-X-96-CP ESD安全真空吸杆(用于6英寸半导体晶圆处理)

Fluoro Mechanic C002-X-96-CP ESD安全真空吸杆(用于6英寸半导体晶圆处理)Fluoro Mechanic C002-X-96-CP ESD安全真空吸杆(用于6英寸半导体晶圆处理)产品概述:Fluoro Mechanic C002-X-96-CP是一款专为150mm(6英寸)半导体晶圆设计的ESD安全真空吸杆。笔身采用导电尼龙材质,笔尖采用导电PEEK材质,具有良好的防

Fluoro Mechanic C002-X-96-CP ESD安全真空吸杆(用于6英寸半导体晶圆处理)

Fluoro Mechanic C002-X-96-CP ESD安全真空吸杆(用于6英寸半导体晶圆处理)

产品概述:

Fluoro Mechanic C002-X-96-CP是一款专为150mm(6英寸)半导体晶圆设计的ESD安全真空吸杆。笔身采用导电尼龙材质,笔尖采用导电PEEK材质,具有良好的防静电性能。

该型号为常开(NO)型真空吸杆,通过球状旋转接头(Ball Swivel)连接,可灵活调整角度以适应不同操作姿势。

核心特性:

一、ESD安全设计

  • 笔身材质:导电尼龙(Conductive Nylon),有效减少对晶圆的静电影响

  • 笔尖材质:导电PEEK(Conductive PEEK),电阻值在10⁶~10⁸Ω范围内,提供最佳静电防护

  • 适用于对静电敏感的半导体晶圆处理

二、常开(NO)阀门类型

  • 阀门类型:NO(常开型)

  • 操作方式:按住吸笔上端的按钮以释放晶片

  • 独特阀体设计确保半导体晶圆的可靠吸取和释放

三、球状旋转接头

  • 连接类型:球状旋转接头(Ball Swivel Joint)

  • 可根据需要调整至任意角度

  • 操作灵活,适应不同作业姿势

四、轻量化设计

  • 长度:245mm

  • 重量:约23g

  • 长时间操作不易疲劳

产品规格:

项目规格
型号C002-X-96-CP
品牌Fluoro Mechanic(福乐/FLUORO)
适用晶圆尺寸6英寸(150mm)
阀门类型NO(常开型)
连接类型球状旋转接头(Ball Swivel)
笔身材质导电尼龙
笔尖材质导电PEEK
长度245mm
重量约23g
笔身编码C002-X(含106)
笔尖编码96-CP

配件/零件(另售):

  • 真空泵

  • ESD安全管(抗静电真空管线)

  • 静电消散接地套件

  • 吸杆支架

  • 便携式泄漏检测仪

  • 替换零件(C系列组件)

6英寸系列型号对比:

型号阀门类型关节类型适用场景
C001-X-96-CPNC(常闭)球状旋转接头需要按压吸气,灵活角度
C001-Y-91-CPNC(常闭)固定式标准化操作,常闭型
C002-X-96-CPNO(常开)球状旋转接头需要按压放气,灵活角度
C002-Y-91-CPNO(常开)固定式标准化操作,常开型
C003-X-96-CPNO+SW球状旋转接头带机械开关,灵活角度
C003-Y-91-CPNO+SW固定式带开关,标准化操作

5英寸与6英寸型号对比:

规格5英寸型号6英寸型号
适用晶圆尺寸125mm(5英寸)150mm(6英寸)
对应型号C002-X-95-CPC002-X-96-CP
长度239mm245mm
重量约23g约23g
笔尖编码95-CP96-CP

典型应用场景:

  • 6英寸半导体晶圆的搬运与转移

  • 晶圆在工艺设备间的取放操作

  • 对静电敏感的半导体器件的安全操作

  • 洁净室环境中的晶圆处理

注意事项:

  • 笔身和笔尖需要分别订购:请同时订购笔身(C002-X,含106)和笔尖(96-CP)

  • 建议配合专用真空泵和ESD安全管使用

综合价值:

Fluoro Mechanic C002-X-96-CP ESD安全真空吸杆通过导电尼龙笔身和导电PEEK笔尖提供全面静电保护,常开(NO)阀门设计便于操作,球状旋转接头提供灵活角度调整,轻量化设计(245mm/23g)确保长时间使用不易疲劳,是6英寸半导体晶圆处理的可靠工具。

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