产品概述:
Fluoro Mechanic C003-X-95-CP是一款专为125mm(5英寸)半导体晶圆设计的ESD安全真空吸杆。笔身采用导电尼龙材质,笔尖采用导电PEEK材质,具有良好的防静电性能。
该型号为常开+机械开关(NO+SW)型真空吸杆,通过球状旋转接头(Ball Swivel)连接,可灵活调整角度以适应不同操作姿势。配备机械开关,提供更精确的操作控制。
核心特性:
一、ESD安全设计
二、常开+机械开关(NO+SW)阀门类型
阀门类型:NO+SW(常开型 + 机械开关)
操作方式:通过机械开关控制真空通断
提供更精确、更可靠的吸取和释放控制
三、球状旋转接头
四、轻量化设计
产品规格:
| 项目 | 规格 |
|---|
| 型号 | C003-X-95-CP |
| 品牌 | Fluoro Mechanic(福乐/FLUORO) |
| 适用晶圆尺寸 | 5英寸(125mm) |
| 阀门类型 | NO+SW(常开型 + 机械开关) |
| 连接类型 | 球状旋转接头(Ball Swivel) |
| 笔身材质 | 导电尼龙 |
| 笔尖材质 | 导电PEEK |
| 长度 | 239mm |
| 重量 | 约23g |
| 笔身编码 | C003-X(含106) |
| 笔尖编码 | 95-CP |
配件/零件(另售):
真空泵
ESD安全管(抗静电真空管线)
静电消散接地套件
吸杆支架
便携式泄漏检测仪
替换零件(C系列组件)
C系列型号对比:
| 型号 | 阀门类型 | 关节类型 | 适用场景 |
|---|
| C001-X-95-CP | NC(常闭) | 球状旋转接头 | 需要按压吸气 |
| C001-Y-90-CP | NC(常闭) | 固定式 | 标准化操作,常闭型 |
| C002-X-95-CP | NO(常开) | 球状旋转接头 | 需要按压放气,灵活角度 |
| C002-Y-90-CP | NO(常开) | 固定式 | 标准化操作,常开型 |
| C003-X-95-CP | NO+SW | 球状旋转接头 | 带机械开关,灵活角度 |
| C003-Y-90-CP | NO+SW | 固定式 | 带开关,标准化操作 |
典型应用场景:
5英寸半导体晶圆的搬运与转移
晶圆在工艺设备间的取放操作
对静电敏感的半导体器件的安全操作
洁净室环境中的晶圆处理
需要精确控制吸取/释放的操作流程
注意事项:
综合价值:
Fluoro Mechanic C003-X-95-CP ESD安全真空吸杆通过导电尼龙笔身和导电PEEK笔尖提供全面静电保护,常开+机械开关(NO+SW)阀门设计提供更精确的操作控制,球状旋转接头提供灵活角度调整,轻量化设计(239mm/23g)确保长时间使用不易疲劳,是5英寸半导体晶圆处理中需要精确控制的可靠工具。