Fluoro Mechanic C001-Y-91-CP ESD安全真空吸杆(用于6英寸半导体晶圆处理)
Fluoro Mechanic C001-Y-91-CP ESD安全真空吸杆(用于6英寸半导体晶圆处理)
产品概述:
Fluoro Mechanic C001-Y-91-CP是一款专为150mm(6英寸)半导体晶圆设计的ESD安全真空吸杆。笔身采用导电尼龙材质,笔尖采用导电PEEK材质,具有良好的防静电性能。
该型号为常闭(NC)型真空吸杆,采用固定式(Fixed)关节,适用于标准化操作姿势。
核心特性:
一、ESD安全设计
二、常闭(NC)阀门类型
三、固定式关节
连接类型:固定式(Fixed Joint)
角度固定,适合标准化操作
结构简洁,可靠性高
四、轻量化设计
产品规格:
| 项目 | 规格 |
|---|
| 型号 | C001-Y-91-CP |
| 品牌 | Fluoro Mechanic(福乐/FLUORO) |
| 适用晶圆尺寸 | 6英寸(150mm) |
| 阀门类型 | NC(常闭型) |
| 连接类型 | 固定式(Fixed) |
| 笔身材质 | 导电尼龙 |
| 笔尖材质 | 导电PEEK |
| 长度 | 241mm |
| 重量 | 约25g |
| 笔身编码 | C001-Y |
| 笔尖编码 | 91-CP |
配件/零件(另售):
真空泵
ESD安全管(抗静电真空管线)
静电消散接地套件
吸杆支架
便携式泄漏检测仪
替换零件(C系列组件)
6英寸系列型号对比:
| 型号 | 阀门类型 | 关节类型 | 适用场景 |
|---|
| C001-X-96-CP | NC(常闭) | 球状旋转接头 | 需要按压吸气,灵活角度 |
| C001-Y-91-CP | NC(常闭) | 固定式 | 标准化操作,常闭型 |
| C002-X-96-CP | NO(常开) | 球状旋转接头 | 需要按压放气,灵活角度 |
| C002-Y-91-CP | NO(常开) | 固定式 | 标准化操作,常开型 |
| C003-X-96-CP | NO+SW | 球状旋转接头 | 带机械开关,灵活角度 |
| C003-Y-91-CP | NO+SW | 固定式 | 带开关,标准化操作 |
5英寸与6英寸型号对比(固定式/常闭型):
| 规格 | 5英寸型号 | 6英寸型号 |
|---|
| 适用晶圆尺寸 | 125mm(5英寸) | 150mm(6英寸) |
| 对应型号 | C001-Y-90-CP | C001-Y-91-CP |
| 长度 | 234mm | 241mm |
| 重量 | 约24g | 约25g |
| 笔尖编码 | 90-CP | 91-CP |
典型应用场景:
6英寸半导体晶圆的搬运与转移
晶圆在工艺设备间的取放操作
对静电敏感的半导体器件的安全操作
洁净室环境中的晶圆处理
标准化流水线作业
注意事项: