MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀
MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀一、产品概述三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 BJ4 系列电动蝶阀,是一款采用高性能 AC 伺服电机驱动的全关断与导通控制两用阀门。型号 BJ4-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格,可同时实现全闭(Full Close)和任意开度位置的导通控制(Conductanc
MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀一、产品概述三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 BJ4 系列电动蝶阀,是一款采用高性能 AC 伺服电机驱动的全关断与导通控制两用阀门。型号 BJ4-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格,可同时实现全闭(Full Close)和任意开度位置的导通控制(Conductanc
三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 BJ4 系列电动蝶阀,是一款采用高性能 AC 伺服电机驱动的全关断与导通控制两用阀门。型号 BJ4-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格,可同时实现全闭(Full Close)和任意开度位置的导通控制(Conductance Control)。通过伺服电机的精确控制,该产品支持位置定位、开闭速度可调等多种运行模式,适用于半导体制造、真空镀膜等需要精确控制真空压力的工艺场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | BJ4-J100 |
| 系列 | BJ4 系列 |
| 口径 | 100A |
| 法兰规格 | J(JIS B 2290 保守用法兰) |
| 泄漏量 | 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s 以下 |
| 使用压力范围 | 10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa |
| 接气部材质 | SUS304 |
| 阀体密封(盘片密封) | 氟橡胶 O 形圈 |
| 轴密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 驱动方式 | AC 伺服电机(三菱电机 MR-J4 系列) |
| 位置指示 | 带角度外部显示指示器 |
| 选项 | 开闭检测光电传感器 |
| 质量 | 7.5 kg |
| 尺寸符号 | 数值(mm) |
|---|---|
| A | 20 |
| B | 102 |
| D | 185 |
| n-φE | 8-φ12 |
| F | 160 |
| G | 101 |
| H | 120 |
| J | 5 |
| K(O 形圈) | V120 |
| L | 440.1 |
| M | 347.6 |
| N | 116 |
| P | 91 |
| Q | 140.6 |
| R | 34 |
| S | 150 |
| T | 90 |
| U | 60 |
1. 全闭与导通控制一体化
BJ4-J100 一台阀门即可实现全闭(Full Close)和任意开度位置的导通控制(Conductance Control),无需分别配置切断阀与调节阀,简化真空系统设计。
2. 差压状态开启能力
可在阀门两侧存在差压(真空侧 vs 大气侧)的状态下正常开启,适应不同工艺条件下的操作需求。
3. 高精度位置再现性
采用电机直结驱动机构与高精度齿轮头,位置精度的再现性优异,确保每次开启到相同位置时的一致性。
4. 丰富的运行模式
通过控制方式的选择,可实现开度调整、速度调整等多种运行模式,适应不同工艺的排气需求。
5. 高耐久性
适用于大流量排气,耐久性优异,适合长期连续运行。
6. 角度外部显示指示器
配备角度外部显示指示器,可从外部确认阀体(盘片)的当前位置,便于现场操作与状态确认。
法兰规格选项:
| 法兰代码 | 规格名称 | 适用口径范围 |
|---|---|---|
| J | JIS B 2290 保守用法兰 | 25A ~ 250A |
口径选项:
BJ4-J25(25A)
BJ4-J50(50A)
BJ4-J65(65A)
BJ4-J80(80A)
BJ4-J100(100A)
BJ4-J150(150A)
BJ4-J200(200A)
BJ4-J250(250A)
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| 半导体制造 | 刻蚀、CVD、PVD 工艺的真空压力控制 |
| 真空镀膜 | 溅射、蒸镀等工艺的导通控制与全关断 |
| 真空热处理 | 真空炉的排气速度控制与隔离 |
| 科研实验 | 实验室真空系统的精确压力控制 |
确认所需口径(25A ~ 250A)
确认法兰规格(JIS B 2290 保守用法兰)
确认伺服电机驱动器型号(需用户自行选配三菱 MR-J4 系列兼容驱动器)
确认是否需要开闭检测光电传感器(选项)
确认密封材质是否需要变更(标准为氟橡胶)
确认安装空间是否适配阀门尺寸