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MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀

MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀一、产品概述三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 BJ4 系列电动蝶阀,是一款采用高性能 AC 伺服电机驱动的全关断与导通控制两用阀门。型号 BJ4-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格,可同时实现全闭(Full Close)和任意开度位置的导通控制(Conductanc

MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀

MIYUKI BJ4-J100电动蝶阀

一、产品概述

三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 BJ4 系列电动蝶阀,是一款采用高性能 AC 伺服电机驱动的全关断与导通控制两用阀门。型号 BJ4-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格,可同时实现全闭(Full Close)和任意开度位置的导通控制(Conductance Control)。通过伺服电机的精确控制,该产品支持位置定位、开闭速度可调等多种运行模式,适用于半导体制造、真空镀膜等需要精确控制真空压力的工艺场景。

二、产品规格

项目规格
品名BJ4-J100
系列BJ4 系列
口径100A
法兰规格J(JIS B 2290 保守用法兰)
泄漏量1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s 以下
使用压力范围10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa
接气部材质SUS304
阀体密封(盘片密封)氟橡胶 O 形圈
轴密封氟橡胶 O 形圈
驱动方式AC 伺服电机(三菱电机 MR-J4 系列)
位置指示带角度外部显示指示器
选项开闭检测光电传感器
质量7.5 kg

三、外形尺寸(BJ4-J100)

尺寸符号数值(mm)
A20
B102
D185
n-φE8-φ12
F160
G101
H120
J5
K(O 形圈)V120
L440.1
M347.6
N116
P91
Q140.6
R34
S150
T90
U60

四、核心设计特征

1. 全闭与导通控制一体化
BJ4-J100 一台阀门即可实现全闭(Full Close)和任意开度位置的导通控制(Conductance Control),无需分别配置切断阀与调节阀,简化真空系统设计。

2. 差压状态开启能力
可在阀门两侧存在差压(真空侧 vs 大气侧)的状态下正常开启,适应不同工艺条件下的操作需求。

3. 高精度位置再现性
采用电机直结驱动机构与高精度齿轮头,位置精度的再现性优异,确保每次开启到相同位置时的一致性。

4. 丰富的运行模式
通过控制方式的选择,可实现开度调整、速度调整等多种运行模式,适应不同工艺的排气需求。

5. 高耐久性
适用于大流量排气,耐久性优异,适合长期连续运行。

6. 角度外部显示指示器
配备角度外部显示指示器,可从外部确认阀体(盘片)的当前位置,便于现场操作与状态确认。

五、法兰规格与口径选项

法兰规格选项:

法兰代码规格名称适用口径范围
JJIS B 2290 保守用法兰25A ~ 250A

口径选项:

  • BJ4-J25(25A)

  • BJ4-J50(50A)

  • BJ4-J65(65A)

  • BJ4-J80(80A)

  • BJ4-J100(100A)

  • BJ4-J150(150A)

  • BJ4-J200(200A)

  • BJ4-J250(250A)

六、典型应用场景

应用类型说明
半导体制造刻蚀、CVD、PVD 工艺的真空压力控制
真空镀膜溅射、蒸镀等工艺的导通控制与全关断
真空热处理真空炉的排气速度控制与隔离
科研实验实验室真空系统的精确压力控制

七、选型要点

  • 确认所需口径(25A ~ 250A)

  • 确认法兰规格(JIS B 2290 保守用法兰)

  • 确认伺服电机驱动器型号(需用户自行选配三菱 MR-J4 系列兼容驱动器)

  • 确认是否需要开闭检测光电传感器(选项)

  • 确认密封材质是否需要变更(标准为氟橡胶)

  • 确认安装空间是否适配阀门尺寸




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