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池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀

池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀一、产品概述三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 L 系列气动闸阀,是一款追求性价比、通用性高的真空用闸阀。型号 L-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格。该产品面间尺寸薄,有助于实现管路的紧凑化与排气性能的提升。阀体采用不锈钢研磨板材经真空钎焊制作,消除了内表面

池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀

池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀

一、产品概述

三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 L 系列气动闸阀,是一款追求性价比、通用性高的真空用闸阀。型号 L-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格。该产品面间尺寸薄,有助于实现管路的紧凑化与排气性能的提升。阀体采用不锈钢研磨板材经真空钎焊制作,消除了内表面的死空间,有效降低了气体释放量,适用于半导体制造、真空镀膜等需要高性价比真空隔离的工艺场景。

二、产品规格

项目规格
品名L-J100
系列L 系列
口径100A
法兰规格J(JIS B 2290 保守用法兰)
泄漏量(阀体)1 × 10⁻¹¹ Pa·m³/s 以下
泄漏量(阀座)1 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下
泄漏量(轴部)1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s 以下
使用压力范围10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa
接气部材质SUS304、铝合金
轴密封氟橡胶 O 形圈(直动式)
驱动方式气动(Air Drive)
动作气源压力0.4 ~ 0.6 MPaG
阀门开启时允许差压3000 Pa 以下
开闭指示带磁簧近接开关(开/关各位置检测用)
质量10 kg

三、外形尺寸(L-J100)

尺寸符号数值(mm)
A60
B100
D185
n-φE8-M10
F160
H492
J286
K206
L60
T175
U158
V60
W79

四、核心设计特征

1. 低颗粒产生设计
除密封动作外,阀体(闸板)与阀体壳体不接触,有效减少了颗粒物的产生,适用于对洁净度要求较高的真空工艺。

2. 等间距球压式密封机构
阀体密封采用等间距球压式机构,确保即使在反向压力条件下也具有优异的密封性能。

3. 不锈钢研磨板材真空钎焊
阀体外壳采用不锈钢研磨板材通过真空钎焊工艺制作,内表面无死空间,有效降低了气体释放量(Outgassing)。

4. 阀体轻量化
阀体材质采用铝合金,实现轻量化,便于安装与操作。

5. 面间尺寸薄
面间尺寸薄,有助于实现真空管路的紧凑化布局,同时提高排气性能。

6. 带磁簧近接开关开闭指示
标配磁簧近接开关,可检测开/关各位置状态,便于系统集成与远程监控。

五、法兰规格与口径选项

法兰规格选项:

法兰代码规格名称适用口径范围
JJIS B 2290 保守用法兰65A ~ 250A
IISO 1609(螺栓紧固法兰)63A ~ 250A

口径选项:

  • L-J65(65A)/ L-I63(63A)

  • L-J80(80A)/ L-I80(80A)

  • L-J100(100A)/ L-I100(100A)

  • L-J150(150A)/ L-I160(160A)

  • L-J200(200A)/ L-I200(200A)

  • L-J250(250A)/ L-I250(250A)


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