池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀
池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀一、产品概述三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 L 系列气动闸阀,是一款追求性价比、通用性高的真空用闸阀。型号 L-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格。该产品面间尺寸薄,有助于实现管路的紧凑化与排气性能的提升。阀体采用不锈钢研磨板材经真空钎焊制作,消除了内表面
池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀一、产品概述三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 L 系列气动闸阀,是一款追求性价比、通用性高的真空用闸阀。型号 L-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格。该产品面间尺寸薄,有助于实现管路的紧凑化与排气性能的提升。阀体采用不锈钢研磨板材经真空钎焊制作,消除了内表面
池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀
池田屋!MIYUKI L-J100气动闸阀
三幸株式会社(MIYUKI Co., Ltd.)推出的 L 系列气动闸阀,是一款追求性价比、通用性高的真空用闸阀。型号 L-J100 口径为 100A,采用 JIS B 2290 保守用法兰规格。该产品面间尺寸薄,有助于实现管路的紧凑化与排气性能的提升。阀体采用不锈钢研磨板材经真空钎焊制作,消除了内表面的死空间,有效降低了气体释放量,适用于半导体制造、真空镀膜等需要高性价比真空隔离的工艺场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | L-J100 |
| 系列 | L 系列 |
| 口径 | 100A |
| 法兰规格 | J(JIS B 2290 保守用法兰) |
| 泄漏量(阀体) | 1 × 10⁻¹¹ Pa·m³/s 以下 |
| 泄漏量(阀座) | 1 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下 |
| 泄漏量(轴部) | 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s 以下 |
| 使用压力范围 | 10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa |
| 接气部材质 | SUS304、铝合金 |
| 轴密封 | 氟橡胶 O 形圈(直动式) |
| 驱动方式 | 气动(Air Drive) |
| 动作气源压力 | 0.4 ~ 0.6 MPaG |
| 阀门开启时允许差压 | 3000 Pa 以下 |
| 开闭指示 | 带磁簧近接开关(开/关各位置检测用) |
| 质量 | 10 kg |
| 尺寸符号 | 数值(mm) |
|---|---|
| A | 60 |
| B | 100 |
| D | 185 |
| n-φE | 8-M10 |
| F | 160 |
| H | 492 |
| J | 286 |
| K | 206 |
| L | 60 |
| T | 175 |
| U | 158 |
| V | 60 |
| W | 79 |
1. 低颗粒产生设计
除密封动作外,阀体(闸板)与阀体壳体不接触,有效减少了颗粒物的产生,适用于对洁净度要求较高的真空工艺。
2. 等间距球压式密封机构
阀体密封采用等间距球压式机构,确保即使在反向压力条件下也具有优异的密封性能。
3. 不锈钢研磨板材真空钎焊
阀体外壳采用不锈钢研磨板材通过真空钎焊工艺制作,内表面无死空间,有效降低了气体释放量(Outgassing)。
4. 阀体轻量化
阀体材质采用铝合金,实现轻量化,便于安装与操作。
5. 面间尺寸薄
面间尺寸薄,有助于实现真空管路的紧凑化布局,同时提高排气性能。
6. 带磁簧近接开关开闭指示
标配磁簧近接开关,可检测开/关各位置状态,便于系统集成与远程监控。
法兰规格选项:
| 法兰代码 | 规格名称 | 适用口径范围 |
|---|---|---|
| J | JIS B 2290 保守用法兰 | 65A ~ 250A |
| I | ISO 1609(螺栓紧固法兰) | 63A ~ 250A |
口径选项:
L-J65(65A)/ L-I63(63A)
L-J80(80A)/ L-I80(80A)
L-J100(100A)/ L-I100(100A)
L-J150(150A)/ L-I160(160A)
L-J200(200A)/ L-I200(200A)
L-J250(250A)/ L-I250(250A)