池田屋精品！MIYUKI AEH-N40气动L型阀
池田屋精品！MIYUKI AEH-N40气动L型阀池田屋精品！MIYUKI AEH-N40气动L型阀一、产品概述三幸株式会社（MIYUKI Co., Ltd.）推出的 AEH 系列气动 L 型阀，是一款具备中间开度停止功能、可实现慢速排气（缓抽）的真空用直角阀。型号 AEH-N40 口径为 40A，采用 NW40 法兰规格，通过全闭、中间停止、全开三段式位置控制，可在真空系统中实现排气速度的精确调
池田屋精品！MIYUKI AEH-N40气动L型阀
池田屋精品！MIYUKI AEH-N40气动L型阀
一、产品概述
三幸株式会社（MIYUKI Co., Ltd.）推出的 AEH 系列气动 L 型阀，是一款具备中间开度停止功能、可实现慢速排气（缓抽）的真空用直角阀。型号 AEH-N40 口径为 40A，采用 NW40 法兰规格，通过全闭、中间停止、全开三段式位置控制，可在真空系统中实现排气速度的精确调节。该产品适用于半导体制造、真空镀膜等需要防止粉尘飞散或控制排气冲击的工艺场景。
二、产品规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | AEH-N40 |
| 系列 | AEH 系列 |
| 类型 | 气动 L 型阀（中间停止功能） |
| 口径 | 40A |
| 法兰规格 | NW40 |
| 轴密封方式 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 气缸功能 | 全闭、中间停止、全开 |
| 开放导通能力 | 51 L/s |
| 泄漏量 | 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s 以下 |
| 使用压力范围 | 10⁵ ～ 10⁻⁵ Pa |
| 所需气源压力 | 0.4 ～ 0.6 MPaG |
| 使用寿命 | 5 × 10⁵ 次 |
| 材质（本体） | SUS304 |
| 阀体密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 轴密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 耐热使用温度 | 本体 150℃以下 |
| 质量 | 2.0 kg |
三、外形尺寸（AEH-N40）
| 尺寸符号 | 数值（mm） |
|---|---|
| A | 55 |
| B | 35.5 |
| C | 79.5 |
| D | 73 |
| E | 243 |
| F | 15 |
| G | 55 |
| H | 60.5 |
| I | 58 |
| J | 80 |
| K | 70 |
| L（气口） | Rc 1/8 |
| M（气口） | Rc 1/8 |
四、核心设计特征
1. 中间停止功能，实现慢速排气
AEH 系列配备全闭、中间停止、全开三段式位置控制功能。通过将阀体停止在中间开度位置，可实现慢速排气（缓抽），有效防止工艺过程中的粉尘飞散，同时避免因快速排气引起的压力冲击。
2. L 型流路设计
采用 L 型（直角）流路结构，适用于真空管路的方向切换或分支隔离，节省安装空间。
3. O 形圈轴密封
采用氟橡胶 O 形圈轴密封，泄漏量 ≤ 1×10⁻⁸ Pa·m³/s，适用于一般真空工艺。
4. 高导通能力
AEH-N40 在 40A 口径下导通能力为 51 L/s，具备良好的排气性能。
5. 长使用寿命
设计寿命达 5 × 10⁵ 次开关动作，适用于需要频繁操作的自动化真空系统。
6. 反向压力承受设计
所有规格均设计为可承受反向压力，适用于真空系统可能面临反向压差的工况。
五、AEH 系列口径与性能参数
| 型号 | 口径 | 法兰规格 | 导通能力（L/s） | 质量（kg） |
|---|---|---|---|---|
| AEH-N16 | 16A | NW16 | 4 | 1.0 |
| AEH-N25 | 25A | NW25 | 14 | 1.0 |
| AEH-N40 | 40A | NW40 | 51 | 2.0 |
| AEH-N50 | 50A | NW50 | 73 | 3.5 |
六、气动配管连接
AEH 系列通过电磁阀控制三个位置的切换（全闭 → 中间停止 → 全开）。电磁阀选型时需根据气缸动作模式选择合适规格（三通阀或五通阀），具体配管方式请参照产品手册中的“电磁阀气动配管连接示例”。
七、典型应用场景
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| 半导体制造 | 刻蚀、CVD 工艺的慢速排气与压力控制 |
| 真空镀膜 | 溅射、蒸镀等工艺的缓抽控制，防止粉尘飞散 |
| 真空热处理 | 真空炉的慢速排气，防止工件氧化 |
| 科研实验 | 实验室真空系统的排气速度调节 |
八、选型要点
确认所需口径（NW16 ～ NW50）
确认所需导通能力是否满足系统要求
确认中间停止位置的开度要求（可通过气缸行程限位调整）
确认电磁阀选型（三通阀或五通阀）
确认气源压力（0.4 ～ 0.6 MPaG）
确认使用环境温度（本体 150℃以下）
确认安装空间是否适配阀门尺寸