荏原EBARA 千式真空泵 EV-S型
荏原EBARA 千式真空泵 EV-S型荏原EBARA 千式真空泵 EV-S型产品概述：EV-S型干式真空泵是荏原面向多场景应用需求开发的一款独立设置型鲁茨式干泵。该产品覆盖从装载锁室、SEM等轻负荷用途至腐蚀性工艺的广泛场景，在保留排气流速调节功能、通信功能等附加价值的基础上，进一步优化了能耗、占地面积及设备重量。核心特性：一、广泛的工艺适应性EV-S型适用于多种工艺条件，既可满足轻负荷场景下的稳
荏原EBARA 千式真空泵 EV-S型
荏原EBARA 千式真空泵 EV-S型
产品概述：
EV-S型干式真空泵是荏原面向多场景应用需求开发的一款独立设置型鲁茨式干泵。该产品覆盖从装载锁室、SEM等轻负荷用途至腐蚀性工艺的广泛场景，在保留排气流速调节功能、通信功能等附加价值的基础上，进一步优化了能耗、占地面积及设备重量。
核心特性：
一、广泛的工艺适应性
EV-S型适用于多种工艺条件，既可满足轻负荷场景下的稳定排气需求，也可应对含腐蚀性成分的工艺环境。用户可根据实际工艺要求，选择耐腐蚀材料型号或N2吹扫型号，提升了设备选型的灵活性。
二、能效与空间优化
该产品在能耗控制、结构紧凑性及轻量化方面进行了针对性优化。独立设置的设计使其便于在空间有限或布局分散的现场环境中部署，有助于降低设备整体占用面积，同时减少运行过程中的电力消耗。
三、稳定的性能表现
EV-S型在不同供电频率条件下可保持一致的排气性能，无需因供电环境差异而进行调整或适配。这一特性简化了设备在不同地区的部署流程，降低了现场调试工作量。
四、智能监控与维护优化
产品配备了较为完备的传感监测功能，可实时采集设备运行状态信息。通过对关键参数的持续跟踪，有助于提前识别潜在异常，减少非计划停机时间，降低设备维护对生产节奏的影响。
主要规格参数：
| 型号 | 最大排气流量（L/min） |
|---|---|
| EV-S20(P/N) | 1,670 |
| EV-S50(P/N) | 5,000 |
| EV-S100(P/N) | 10,000 |
| EV-S200(P/N) | 20,000 |
典型应用场景：
装载锁室排气
扫描电子显微镜（SEM）配套
轻负荷至腐蚀性工艺排气