全新到货OSAKA VACUUM 大阪真空 TG900M 磁悬浮涡轮分子泵

TG900M 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气口提供 ISO-B160、VG150、CF160 三种接口选型，排气口规格为 KF40。氮气排气速度 900L/s，加装金属保护网后为 860L/s，氢气排气速度可达 1050L/s；氮气最大压缩比 1×10⁸，氢气压缩比 1.5×10⁴。极限压力随接口类型变化，VG 与 ISO-B 接口低于 1×10⁻⁶Pa，CF 接口低于 1×10⁻⁷Pa。最大氮气流量 3000sccm，氩气流量 1500sccm，启动时间 4~5 分钟，停止时间 4~5 分钟，允许辅助压力 500Pa，推荐搭配≥250L/min 前级泵，支持任意角度安装。整机重量，VG、ISO-B 版本 34kg，CF 耐腐蚀版本 42kg，配套控制器型号 TC010MB。

泵体采用轻巧化机身结构，运行能耗较低，磁悬浮结构运行振动小，内置自动校准功能，无需频繁人工调整，转子转速可进行调控。设备搭载维护报警机能，便于运维人员及时掌握设备状态，保障真空工艺连续运行，整机满足多项安全规格。

适用领域包含半导体制备、FPD 面板生产、电子枪与离子源排气、表面改性处理、电子零部件制造、光学器件加工、热处理工艺，也适配加速器、核聚变研究、理化分析试验装置。全方位安装特性，可灵活匹配不同腔体布局，大抽速特性能够满足中大腔体高真空获取需求，是工业制程与科研实验常用的高真空获得设备。

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