原装现货OSAKA VACUUM 大阪真空 TG420M 磁悬浮涡轮分子泵

TG420M 磁悬浮轴承涡轮分子泵，吸气口可选 ISO-B160、VG150、CF160 三种规格，排气口统一 KF25。氮气排气速度 400L/s，加装金属保护网为 370L/s，氢气排气速度 300L/s；氮气最大压缩比可达 1×10⁸，氢气压缩比 4.5×10³。极限压力根据接口类型有所区分，VG 与 ISO-B 接口低于 1×10⁻⁶Pa，CF 接口低于 1×10⁻⁷Pa。最大氮气流量 2000sccm，氩气流量 700sccm，启动耗时 2~3 分钟，停止耗时 4~5 分钟，允许辅助压力 400Pa，推荐搭配≥160L/min 前级泵，支持任意角度安装。整机重量随接口版本变化，VG、ISO-B 版本 14kg，CF 耐腐蚀版本 17kg，配套控制器型号 TC010MB。

产品采用轻巧化结构设计，运行能耗低，启停响应快，配备维护报警提示功能，便于运维人员提前掌握设备状态。磁悬浮结构带来低振动特性，设备内置自动校准功能，无需人工反复调整，转子转速可按需控制。整机满足 NRTL、SEMI-S2、CE 安全规范，运行稳定性良好。

这款分子泵适用场景广泛，覆盖半导体制备、FPD 面板、电子枪与离子源排气、表面改性、光学部件加工、热处理设备，也可用于加速器、核聚变相关科研装置与各类理化分析试验设备。全方位安装能力适配各类腔体布局，紧凑机身方便设备集成，可为中小腔体真空工艺提供稳定抽气能力。

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