池田屋IKC/入江工研 SUS316L 真空用柔性管 VFP2034-500L

池田屋IKC/入江工研 SUS316L 真空用柔性管 VFP2034-500L

池田屋IKC/入江工研 SUS316L 真空用柔性管 VFP2034-500L

VFP2034-500L 是入江工研株式会社（IRIE KOKEN CO., LTD.）生产的一款真空用柔性管（Vacuum Flexible Tube），属于VFP 2000系列（CF法兰型），两端配置CF法兰（Conflat Flange）。该产品采用不锈钢材质制造，适用于半导体、液晶、真空设备、加速器及石油化工等领域的超高真空管路柔性连接。CF法兰采用金属密封方式，可满足更严格的泄漏率要求，适用于对真空度要求较高的应用环境。

尺寸参数与结构
该型号（VFP2034）管内径为25.0mm，管外径为32.2mm，CF法兰外径为33.8mm，法兰节圆直径为27.0mm，安装孔为6-φ4.4，法兰密封面内径为18.0mm。标准长度为500mm（型号后缀-500L），此外还可提供1000mm、1500mm、2000mm等长度规格。该尺寸适用于小口径超高真空管路中的柔性连接。法兰配置为固定法兰与旋转法兰各一端（固定×旋转），便于安装时的角度调整。

工作条件与性能
内部为真空状态，外部为大气压（差压0.1MPa）。使用温度为常温（最高烘烤温度250℃）。泄漏测试采用He气体泄漏检测，泄漏率不超过1×10⁻⁹ Pa·m³/s，较VFP 1000系列的1×10⁻⁷ Pa·m³/s更为严格，可满足超高真空系统的密封要求。材质方面，柔性管本体及法兰均采用不锈钢材质。

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