池田屋IKC/入江工研 SUS316L 真空用柔性管 VFP3025-500L

池田屋IKC/入江工研 SUS316L 真空用柔性管 VFP3025-500L

池田屋IKC/入江工研 SUS316L 真空用柔性管 VFP3025-500L

VFP3025-500L 是入江工研株式会社（IRIE KOKEN CO., LTD.）生产的一款真空用柔性管（Vacuum Flexible Tube），属于VFP 3000系列（JIS法兰型），两端配置JIS标准法兰。该产品采用不锈钢材质制造，适用于半导体、液晶、真空设备及石油化工等领域的真空管路柔性连接。JIS法兰型柔性管适用于采用日本工业标准法兰的真空系统，可与现有JIS规格设备直接连接。

尺寸参数与结构
该型号（VFP3025）公称口径为25A，管内径为25.0mm，管外径为32.2mm，法兰外径为90.0mm，法兰节圆直径为70.0mm，安装孔为4-φ10，法兰密封面内径为34.0mm。标准长度为500mm（型号后缀-500L），此外还可提供1000mm、1500mm、2000mm等长度规格。该尺寸适用于中小口径真空管路中的柔性连接。

工作条件与性能
内部为真空状态，外部为大气压（差压0.1MPa）。使用温度为常温（最高烘烤温度250℃）。泄漏测试采用He气体泄漏检测，泄漏率不超过1×10⁻⁷ Pa·m³/s。材质方面，柔性管本体及法兰均采用不锈钢材质。法兰配置为固定法兰与旋转法兰各一端（固定×旋转），便于安装时的角度调整。

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