ULVAC爱发科 传感器型皮拉尼真空计 SP1【池田屋商社】
ULVAC爱发科 传感器型皮拉尼真空计 SP1【池田屋商社】ULVAC爱发科 传感器型皮拉尼真空计 SP1【池田屋商社】传感器单元(SP1)是“Model:G-TRAN”的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。特点传感器规格：如果需要压力·空白计划降低·控制板空间节省·配线简化决定子交换更容易灯丝采用耐腐蚀材料铂其中一个使用的测量组件（SP1：
ULVAC爱发科 传感器型皮拉尼真空计 SP1【池田屋商社】
ULVAC爱发科 传感器型皮拉尼真空计 SP1【池田屋商社】
传感器单元(SP1)是“Model:G-TRAN”的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构，能够降低成本和节省空间。
特点
传感器规格：如果需要压力·
空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化决定子交换更容易
灯丝采用耐腐蚀材料铂
其中一个使用的测量组件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非输出）
电源电压：24 VDC输入
用途
用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
规格
类型 | 传感器单元 |
模型 | SP1 |
兼容传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
准确性 | ±15 %（51帕～760帕） |
±30 %（10 Pa ～1000 Pa） | |
±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） | |
工作温度范围 | 10～40℃ |
测量值输出 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
设定点 1/2 压力设定调整监视器 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
控制输出信号 | 开路集电极输出，负逻辑 |
错误信号 | |
设定点 1/2 | |
LED显示屏 | 电源、错误、设定点 1、设定点 2 |
电源电压 | DC24V±2V, 90mA（最大） |
输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
重量 | 190g/0.41lb（不含传感器头） |
标准配件 | 输入/输出连接器 1个 |
快速手册 1本 |
IO和模拟GND与电源GND没有隔离。