ULVAC爱发科

原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2

原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2皮拉尼真空计,可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围该真空计从传统的控制器(传感器单元)中除去操作·显示部,最大限度凝缩精简功能,使「降成本」和「省空间」成为可能。特点测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申

原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2

原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2


皮拉尼真空计,可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器(传感器单元)中除去操作·显示部,最大限度凝缩精简功能,使「降成本」和「省空间」成为可能。

    特点

    • 测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa

    • 抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申请专利)

    • 优异的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度均在±20%以内(日本专利第4878289号)

    • 灯丝材料·铂(Pt):由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝

    • 可视化程度提高:配备可确认异常的LED

    • 一触式调整:一键式即可进行大气压力调整和零点调整

    • 维护:更换测定子更轻松

    • 适用测定子扩展:除了NW16 / 25规格外,还将Φ15/ 18规格,拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中

    用途

    • 太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备

    • 用于设备的低真空领域的工艺控制

    • 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制

    • 用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

    • 用于有振动・冲击的各种真空排气系统

    规格

    模型

    SW1-1

    SW1-2

    可连接传感器头

    1个

    兼容传感器头

    SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(φ18)、SWP-P15(φ15)、SWP-CF16(ICF034)、SWP-1S(ASME BPE卫生级1")

    可测压力范围

    5.0×10 -2~ 1.0×10 +5 Pa (Pa (显示范围:1.0×10 -2~ 1.2×10 +5 Pa)

    准确性*

    1×10 -1 Pa~1×10 +4 Pa:±10%

    5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa、1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa:±20%

    重复性

    1×10 -1 Pa~1×10 +4 Pa:±2%

    采样时间

    50ms 5次移动平均处理

    值输出

    输出电压 DC 0 至 10V

    压力指示(对数)1.7V至8.0V 1V/十倍

    (更新时间)50ms

    控制输入信号

    开路集电极输入,负逻辑

    -

    ADJ调整(零点、大气调整)

    -

    控制输出信号

    开路集电极输出,负逻辑[额定值:30VMAX、50mAMAX、70mW]

    -

    错误信号

    -

    设定点 1、2

    -

    监控设定点

    设定点1、2:0至10V日志输出

    -

    串行通信类型

    -

    RS232C/RS485

    LED显示屏

    电源/错误:电源错误 LED

    SET-1:设定点1LED

    -

    SET-2:设定点2LED

    -

    灯丝材质

    工作温度范围

    10~40℃

    工作湿度范围

    15~80%(无凝结)

    IP等级

    IP30(传感器单元)

    固定位置

    自由的

    电源电压

    DC18V~30V,2W(电源输入时4.8W)

    输入/输出连接器

    D-sub 15针(M2.6mm螺钉)- 侧面传感器单元

    重量

    150克(含SWP-16)

    尺寸(电源)宽×深×高

    70毫米×46毫米×28毫米

    标准配件

    快速手册

    选项

    输入/输出连接器(D-sub 15 插座(M2.6mm 螺丝))、检验结果数据表、一般校准测试报告、JCSS 校准证书

    适用标准

    CE

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