原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2
原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2皮拉尼真空计,可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围该真空计从传统的控制器(传感器单元)中除去操作·显示部,最大限度凝缩精简功能,使「降成本」和「省空间」成为可能。特点测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申
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原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2
原厂直发!!ULVAC爱发科 高精度 皮拉尼真空计 SW1-N2
皮拉尼真空计,可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器(传感器单元)中除去操作·显示部,最大限度凝缩精简功能,使「降成本」和「省空间」成为可能。
特点
测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa
抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申请专利)
优异的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度均在±20%以内(日本专利第4878289号)
灯丝材料·铂(Pt):由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
可视化程度提高:配备可确认异常的LED
一触式调整:一键式即可进行大气压力调整和零点调整
维护:更换测定子更轻松
适用测定子扩展:除了NW16 / 25规格外,还将Φ15/ 18规格,拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中
用途
太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
用于设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于有振动・冲击的各种真空排气系统
规格
模型 | SW1-1 | SW1-2 |
可连接传感器头 | 1个 | |
兼容传感器头 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(φ18)、SWP-P15(φ15)、SWP-CF16(ICF034)、SWP-1S(ASME BPE卫生级1") | |
可测压力范围 | 5.0×10 -2~ 1.0×10 +5 Pa (Pa (显示范围:1.0×10 -2~ 1.2×10 +5 Pa) | |
准确性* | 1×10 -1 Pa~1×10 +4 Pa:±10% | |
5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa、1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa:±20% | ||
重复性 | 1×10 -1 Pa~1×10 +4 Pa:±2% | |
采样时间 | 50ms 5次移动平均处理 | |
值输出 | 输出电压 DC 0 至 10V | |
压力指示(对数)1.7V至8.0V 1V/十倍 | ||
(更新时间)50ms | ||
控制输入信号 | 开路集电极输入,负逻辑 | - |
ADJ调整(零点、大气调整) | - | |
控制输出信号 | 开路集电极输出,负逻辑[额定值:30VMAX、50mAMAX、70mW] | - |
错误信号 | - | |
设定点 1、2 | - | |
监控设定点 | 设定点1、2:0至10V日志输出 | - |
串行通信类型 | - | RS232C/RS485 |
LED显示屏 | 电源/错误:电源错误 LED | |
SET-1:设定点1LED | - | |
SET-2:设定点2LED | - | |
灯丝材质 | 铂 | |
工作温度范围 | 10~40℃ | |
工作湿度范围 | 15~80%(无凝结) | |
IP等级 | IP30(传感器单元) | |
固定位置 | 自由的 | |
电源电压 | DC18V~30V,2W(电源输入时4.8W) | |
输入/输出连接器 | D-sub 15针(M2.6mm螺钉)- 侧面传感器单元 | |
重量 | 150克(含SWP-16) | |
尺寸(电源)宽×深×高 | 70毫米×46毫米×28毫米 | |
标准配件 | 快速手册 | |
选项 | 输入/输出连接器(D-sub 15 插座(M2.6mm 螺丝))、检验结果数据表、一般校准测试报告、JCSS 校准证书 | |
适用标准 | CE |