日本HONDA本多 石英振动型 超声波清洗装置 W-357-1MQG-SKC
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日本HONDA本多 石英振动型 超声波清洗装置 W-357-1MQG-SKC
日本HONDA本多 石英振动型 超声波清洗装置 W-357-1MQG-SKC
日本HONDA本多 石英振动型 超声波清洗装置 W-357-1MQG-SKC
该方法使用叠加在石英振动器上的超声波来清洁半导体晶片。
与间歇式清洗或流水式清洗相比，它具有能够减少化学药品使用量等特点，
并且由于与液体接触的唯一部分是石英玻璃和橡胶材料，因此可以保持高水平的清洁度。包装不得与液体接触。
另外，通过根据用途准备石英振子的形状，可以根据需要进行低损伤清洗、大面积清洗、斜面部分（边缘）、
切口（晶圆边缘的切口）的清洗等清洗。
这样可以进行有效的清洁。
目的
去除抗蚀剂残留物
磨边后、灰化后去除聚合物
栅电极清洗
CMP后清洗
规格
| 模型 | W-357-1MQG-SKC |
| 振荡模式 | 单频振荡 |
| 额定输出 | 12W |
| 标称振荡频率 | 1兆赫兹 |
| 输入功率 | AC100V~240V 单相 50/60Hz 300VA |
| 外部尺寸 WxDxHmm | 180×250×100 （不含突出物，含橡胶脚） |
| 质量 | 2.2公斤 |