池田屋代理现货第一热研 Eco-ZET TB-IIV 氧化锆型氧浓度计

摘要

第一净研株式会社推出氧化锆型氧浓度计新品Eco-ZET TB-IIV，隶属TB-IIV系列。该新品检测部分采用稳定的氧化锆陶瓷，可直接插入小型密封容器或真空炉中，用于难以取样的场合。在1×10⁻³Pa（1×10⁻⁵Torr）的减压条件下，可以测量氧气的分压。测量范围为1ppm至100%O₂，线性和重复性均在±1%FS范围内，响应速度10秒内达90%，样品温度最高300℃（传感器入口），样品压力为2atm至1×10⁻³Pa。适用于密封容器与真空炉等场合的氧气浓度检测。

正文

在真空炉、密封容器与半导体制造等领域，氧气分压的测量对工艺气氛控制与产品质量具有相应影响，而这类场合往往难以采用常规取样方式。第一净研株式会社正式推出氧化锆型氧浓度计新品Eco-ZET TB-IIV，该新品隶属TB-IIV系列，为氧气传感器，其检测部分采用稳定的氧化锆陶瓷。

TB-IIV新品在安装方式与测量条件方面具备相应设计。该系列可直接插入小型密封容器或真空炉中，用于难以取样的场合；在1×10⁻³Pa（1×10⁻⁵Torr）的减压条件下，可以测量氧气的分压；结构简单，易于维护。上述特性使其可适应真空环境与密闭空间内的氧气浓度监测需求。

在规格方面，TB-IIV的法兰尺寸包括VF25、NW40与ICF70；安装方式为水平至垂直法兰安装（客户提供）；标准气体入口为SUS TP OD1/4（O型圈密封接头）。测量范围为1ppm至100%O₂，对应1至1×10⁻³⁰atmO₂。线性在±1%FS范围内（0-25%O₂），可重复性在±1%FS范围内（0-25%O₂），响应速度10秒内响应率达90%（当浓度调高时），漂移为每周误差在±2%FS以内。采样方式为扩散，样品温度最高300℃（传感器入口），样品压力为2atm至1×10⁻³Pa（1×10⁻⁵Torr），预热时间约20分钟。可选配法兰式与尺寸变化标准燃气管路截止阀。需要说明的是，单独的TB传感器无法测量氧气浓度，需要配合控制单元才能测量氧气浓度。

在该系列的产品构成中，除TB-IIV外，还包括TB-IIVN型号，两者在规格上有所区别，用户可依据具体应用条件选择相应型号。在该系列的整体构成中，还包括TB-IIG、TB-IIF与TB-FI等系列。TB-IIG系列用于燃烧废气的O₂传感器，测量范围为－20%至25%O₂，样品温度方面仅传感器时最高300℃、带导向探头时0至700℃、带抽气模块时0至1350℃，适用于锅炉、炼钢炉、玻璃熔炉、陶瓷烧制炉与垃圾焚烧厂等场合。TB-IIF系列支持从ppmO₂水平到100%O₂的广泛清洁气体范围，型号包括TB-IIF-P（进出口RC1/8）、TB-IIF-R（进出口RC1/4）、TB-IIF-S（进出口外径3/8英寸Swagelok接头）与TB-IIF-V（进出口4VCR机身），可在0.2至5L/min的流速范围内进行测量。TB-FI系列为便携式氧气检测仪，将TB-IIF-P传感器和C-101控制单元封装在一个便携盒内，型号包括TB-FI、TB-FI-P、TB-FI-PC与TB-FI-PR，测量范围为1ppm至100%O₂，响应速度5秒内达90%，电源为AC85至AC260V。

在控制单元方面，该系列可与C-28C、C-48控制单元配合使用。控制单元用于控制传感器的温度，处理来自传感器的信号，并显示氧气浓度。其特点包括紧凑易用、DIN 96×96尺寸、大屏幕显示、自由范围规格、标准串行通信（RS232C）、输出报警与故障报警等。C-28C与C-48在显示位数、显示范围与范围切换方式上有所区别，用户可依据测量范围与显示要求选择相应型号。

在应用领域方面，该系列适用于小型密封容器、真空炉及其他难以取样场合的氧气浓度与氧气分压测量，也可用于半导体制造与真空工艺等对气氛控制有相应要求的场合。用户可依据容器接口、压力条件与测量范围，在TB-IIV系列型号之间进行选择，并配合相应控制单元构建完整的测量系统。

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