池田屋代理供应第一热研 Eco-ZET TB-IIF-P 氧化锆型氧浓度计

摘要

第一净研株式会社推出氧化锆型氧浓度计新品Eco-ZET TB-IIF-P，隶属TB-IIF系列。该新品检测部分采用稳定的氧化锆陶瓷，支持从ppmO₂水平到100%O₂的广泛清洁气体范围。氧化锆传感器受到多层保护，对HCl和SOx等腐蚀性气体具有较好的抵抗能力，受样品流速影响较小，可在0.2至5L/min的流速范围内进行测量。测量范围为1ppm至100%O₂，线性和重复性均在±1%FS范围内，响应速度10秒内达90%。适用于清洁气体中氧气浓度的连续监测。

正文

在半导体、化工与气体制造等领域，清洁气体中的氧气浓度是影响产品质量与工艺稳定性的重要参数，其测量范围与长期稳定性直接影响工艺控制水平。第一净研株式会社正式推出氧化锆型氧浓度计新品Eco-ZET TB-IIF-P，该新品隶属TB-IIF系列，为O₂传感器，其检测部分采用稳定的氧化锆陶瓷。

TB-IIF-P新品在测量范围与抗腐蚀能力方面具备相应设计。该系列支持从ppmO₂水平到100%O₂的广泛清洁气体范围；氧化锆传感器受到多层保护，使其能够较好地抵抗HCl和SOx等腐蚀性气体的侵蚀；受样品流速影响较小，可在0.2至5L/min的流速范围内进行测量；结构简单，易于维护。上述特性使其可适应气体纯度监测与微量氧分析等对测量范围与稳定性有相应要求的场合。

在规格方面，TB-IIF-P的进出口连接为RC1/8。测量范围为1ppm至100%O₂，对应1至10⁻³⁰atmO₂。线性在±1%FS范围内（0-25%O₂），可重复性在±1%FS范围内（0-25%O₂），响应速度10秒内响应率达90%（当浓度调高时），漂移为每周误差在±2%FS以内。样品温度最高300℃（传感器入口），样品抽吸通过泵进行样品气体注入或抽吸，样品流速为0.2至2L/min（TB-IIF-P），预热时间约20分钟。需要说明的是，单独的TB传感器无法测量氧气浓度，需要配合控制单元才能测量氧气浓度。

在该系列的产品构成中，除TB-IIF-P外，还包括TB-IIF-R（进出口RC1/4）、TB-IIF-S（进出口外径3/8英寸Swagelok接头）与TB-IIF-V（进出口4VCR机身），三者的测量范围、线性、重复性、响应速度与漂移等指标与TB-IIF-P相近，样品流速方面TB-IIF-P为0.2至2L/min，其余型号支持0.5至5.0L/min。上述型号在接口形式上形成多种选择，便于用户依据管路连接方式确定适配机型。

在该系列的整体构成中，还包括TB-IIG、TB-IIV与TB-FI等系列。TB-IIG系列用于燃烧废气的O₂传感器，测量范围为－20%至25%O₂，样品温度方面仅传感器时最高300℃、带导向探头时0至700℃、带抽气模块时0至1350℃，适用于锅炉、炼钢炉、玻璃熔炉、陶瓷烧制炉与垃圾焚烧厂等场合。TB-IIV系列可直接插入小型密封容器或真空炉中，用于难以取样的场合，在1×10⁻³Pa（1×10⁻⁵Torr）的减压条件下可以测量氧气的分压，法兰尺寸包括VF25、NW40与ICF70。TB-FI系列为便携式氧气检测仪，将TB-IIF-P传感器和C-101控制单元封装在一个便携盒内，型号包括TB-FI、TB-FI-P、TB-FI-PC与TB-FI-PR，测量范围为1ppm至100%O₂，响应速度5秒内达90%，电源为AC85至AC260V。

在控制单元方面，该系列可与C-28C、C-48控制单元配合使用。控制单元用于控制传感器的温度，处理来自传感器的信号，并显示氧气浓度。其特点包括紧凑易用、DIN 96×96尺寸、大屏幕显示、自由范围规格、标准串行通信（RS232C）、输出报警与故障报警等。C-28C与C-48在显示位数、显示范围与范围切换方式上有所区别，用户可依据测量范围与显示要求选择相应型号。

在应用领域方面，该系列适用于清洁气体中氧气浓度的连续监测，也可用于半导体制造、气体纯化与化工过程等对微量氧与常量氧均有测量需求的场合。用户可依据气体种类、氧浓度范围与接口形式，在TB-IIF系列各型号之间进行选择，并配合相应控制单元构建完整的测量系统。