池田屋商社！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A06
池田屋商社！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A06
池田屋商社！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A06
该系列风冷泵采用 EBARA 独特的紧凑结构，噪音低、功耗低，无需冷却水，可灵活安装，适用于生产工厂、测试和研究实验室等各种环境中的多种真空应用。
EV-A06系列真空泵专为从大气压到毫托范围的重复抽气性能而设计。它们是湿式泵和涡旋泵的理想替代品；无需频繁换油或重建，也无需担心零点基准压力漂移。
EV-A06 干泵的典型应用包括负载锁、PVD 系统、分析仪器和计量设备。非常适合所有需要最佳真空性能和最长正常运行时间的应用。
特征
• 无油
• 低能耗
• 紧凑/轻便，占地面积小
• 低拥有成本 [功率、N2、水、占地面积、体积、重量]
• 根据工艺应用提供各种泵配置
• 用于非反应性气体的风冷泵
• 低噪音
• 非接触式设计
• 大气下高抽速
应用
• 分析仪器（LCMS、ICPMS、质谱和电子显微镜）
• 冷冻和真空干燥
• 锂离子电池制造
• 负载锁
• 氧等离子体系统
• 物理气相沉积 (PVD)
• 等离子清洗
• 溅射
Specifications - Model EV-A06
Model | EV-A | EV-A | EV-A | ||||
A03 | A06 | A10 | |||||
Pumping Speed | Max. | L/min | 250 | 600 | 1000 | ||
CFM | 9 | 22 | 36 | ||||
m3/hr | 15 | 36 | 60 | ||||
Atmospheric | L/min | 150 | 480 | 800 | |||
CFM | 5.4 | 17 | 29 | ||||
m3/hr | 9 | 29 | 48 | ||||
Ultimate Pressure | Gas Ballast: Off | Pa | 1 | ||||
mBar | 0.01 | ||||||
mTorr | 7.5 | ||||||
Gas Ballast: On | Pa | 10 | 2 | ||||
mBar | 0.1 | 0.02 | |||||
mTorr | 75 | 15 | |||||
Approx.Power at Ultimate Pressure | kW | 0.35 | 0.55 | 1.1 | |||
Max. Inlet Pressure | Atmospheric Pressure | ||||||
Max. Water Vapor Pumping Rate (Gas Ballast: On) | g/hr | 250 | 350 | 500 | |||
Connection | Gas Inlet | NW25 | NW40 | ||||
Gas Outlet | NW25 | NW40 | |||||
Utility | Power Supply | 1 Phase, 100-115V, 50/60Hz | – | ||||
1 Phase, 200-240V, 50/60Hz | |||||||
3 Phase, 200-240V, 50/60Hz | |||||||
Weight | kg | 23 | 54 | 75 | |||
lb | 51 | 119 | 165 | ||||
Airborne Noise Test Data | db(A) | <56 | <57 | <58 | |||
