原厂全新！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A10P
原厂全新！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A10P
原厂全新！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A10P
描述
EV-A10 系列风冷干式真空泵拥有行业领先的规格。非接触式多级罗茨技术旨在实现可靠、无颗粒的真空生成。紧凑的外形和风冷设计，易于安装。它们是湿式泵和涡旋泵的理想替代品；无需频繁换油、昂贵的改造或基准压力漂移。
选项：
单相和三相，50/60 Hz，200-240VAC 型号
N 2吹扫能力
侧面排气（顶部可选）
硬件：止回阀和消音器
泵系统——集成机架解决方案
泵安装升降机
可重复使用的运输箱（带可选坡道）
EV-A10 干泵的典型应用包括负载锁、PVD 系统、分析仪器和计量设备。对于需要提升真空性能和正常运行时间的系统，它是旋片油泵或涡旋泵的理想替代品。
特征
• 无油
• 低能耗
• 紧凑/轻便，占地面积小
• 拥有成本低 [功率、N2、水、占地面积、体积、重量]
• 根据工艺应用配置各种泵
• 用于非反应性气体的空气冷却泵
• 低噪音
• 非接触式设计
• 大气高抽速
• 高水蒸气抽吸率
• 即插即用，安装灵活
• SEMI S2、CE 和 NRTL
应用
分析仪器（LCMS、ICPMS、质谱和电子显微镜）
原子层沉积（ALD）
冷冻和真空干燥
锂离子电池制造
装载锁
氧气等离子系统
包装
物理气相沉积（PVD）
等离子清洗
溶剂清洗
溅射
Specifications - Model EV-A10
Model | EV-A | EV-A | EV-A | ||||
A03 | A06 | A10 | |||||
Pumping Speed | Max. | L/min | 250 | 600 | 1000 | ||
CFM | 9 | 22 | 36 | ||||
m3/hr | 15 | 36 | 60 | ||||
Atmospheric | L/min | 150 | 480 | 800 | |||
CFM | 5.4 | 17 | 29 | ||||
m3/hr | 9 | 29 | 48 | ||||
Ultimate Pressure | Gas Ballast: Off | Pa | 1 | ||||
mBar | 0.01 | ||||||
mTorr | 7.5 | ||||||
Gas Ballast: On | Pa | 10 | 2 | ||||
mBar | 0.1 | 0.02 | |||||
mTorr | 75 | 15 | |||||
Approx.Power at Ultimate Pressure | kW | 0.35 | 0.55 | 1.1 | |||
Max. Inlet Pressure | Atmospheric Pressure | ||||||
Max. Water Vapor Pumping Rate (Gas Ballast: On) | g/hr | 250 | 350 | 500 | |||
Connection | Gas Inlet | NW25 | NW40 | ||||
Gas Outlet | NW25 | NW40 | |||||
Utility | Power Supply | 1 Phase, 100-115V, 50/60Hz | – | ||||
1 Phase, 200-240V, 50/60Hz | |||||||
3 Phase, 200-240V, 50/60Hz | |||||||
Weight | kg | 23 | 54 | 75 | |||
lb | 51 | 119 | 165 | ||||
Airborne Noise Test Data | db(A) | <56 | <57 | <58 | |||
