原装进口！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A03
原装进口！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A03
原装进口！！EBARA荏原 EV-A风冷干式真空泵 EV-A03
描述
该系列风冷泵采用 EBARA 独特的紧凑结构，噪音低、功耗低，无需冷却水，可灵活安装，适用于生产工厂、测试和研究实验室等各种环境中的多种真空应用。
EV-A03 系列真空泵专为从大气压到毫托范围的重复抽气性能而设计。它们是湿式泵和涡旋泵的理想替代品；无需频繁换油、昂贵的改造或基准压力漂移。
EV-A03 干泵的典型应用包括负载锁、PVD 系统、分析仪器、计量设备，非常适合需要最佳真空性能和最佳正常运行时间的湿式/涡旋替代品。
特征
• 无油
• 低能耗
• 紧凑/轻便，占地面积小
• 低拥有成本 [功率、N2、水、占地面积、体积、重量]
• 根据工艺应用提供各种泵配置
• 用于非反应性气体的风冷泵
• 低噪音
• 非接触式设计
• 大气下高抽速
应用
• 分析仪器（LCMS、ICPMS、质谱和电子显微镜）
• 冷冻和真空干燥
• 锂离子电池制造
• 负载锁
• 氧等离子体系统
• 物理气相沉积 (PVD)
• 等离子清洗
• 溅射
规格 - 型号 EV-A03
模型 | EV-A03 | ||
抽速 | MAX | 升/分钟 | 250 |
立方英尺/分钟 | 9 | ||
立方米/小时 | 15 | ||
Atmospheric | 升/分钟 | 150 | |
立方英尺/分钟 | 5.4 | ||
立方米/小时 | 9 | ||
极限压力 | 气镇：关闭 | Pa | 1 |
mBar | 0.01 | ||
mTorr | 7.5 | ||
气镇：开启 | Pa | 10 | |
mBar | 0.1 | ||
mTorr | 75 | ||
极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 0.35 | |
最大入口压力 | 气压 | ||
最大水蒸气抽取速率（气镇：开启） | 克/小时 | 250 | |
Connection | 进气口 | NW25 | |
气体出口 | NW25 | ||
Utility | 电源 | 单相，100-115V，50/60Hz | |
单相，200-240V，50/60Hz | |||
三相，200-240V，50/60Hz | |||
重量 | kg | 23 | |
lb | 51 | ||
空气噪声测试数据 | db(A) | <56 | |
