特征

■单晶硅电极在全球范围内拥有无与伦比的
采用记录，由于其超低颗粒特性和电极材料，避免了金属污染的风险
。
通过安装 5200-SR 外部电极静电消除目标附近的传感器（选件），可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制，而不是离子发生器本身（连接5200-SR）如果没有，离子发生器内置的传感器会自动调整离子平衡.)
■根据半导体前端工艺的EFEM设定棒的长度
■离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等 参数范围广 通过使用 进行设定，可以灵活应对适用于远距离应用和弱气流环境
■只需通过数字输入参数即可获得高再现性，并且可在短时间内完成设置
■除了简单的报警 IO 外，还可以使用提供的 DLL 进行实时监控免费，有助于掌握工艺设备内部状态。