日本 SIMCO思美高 兼容棒型离子发生器 AeroBarMP 型号 5635
日本 SIMCO思美高 兼容棒型离子发生器 AeroBarMP 型号 5635产品信息5635 型 Aerobar MP 离子发生器是一款超低颗粒兼容产品，专为需要 100 nm 或更小的细颗粒控制的静电消除应用而开发，例如在先进的半导体制造工艺中。特征■单晶硅电极在全球范围内拥有无与伦比的应用记录，具有超低颗粒特性，避免了电极材料造成的金属污染风险静电消除性能■低电位摆幅特性，即使在高电压下也可
日本 SIMCO思美高 兼容棒型离子发生器 AeroBarMP 型号 5635
产品信息
5635 型 Aerobar MP 离子发生器是一款超低颗粒兼容产品，专为需要 100 nm 或更小的细颗粒控制的静电消除应用而开发，例如在先进的半导体制造工艺中。
特征
■单晶硅电极在全球范围内拥有无与伦比的
应用记录，具有超低颗粒特性，避免了电极材料造成的金属污染风险静电消除性能
■低电位摆幅特性，即使在高电压下也可使用距离为 100 mm，离子平衡在杆长度上几乎没有偏差 ■
智能控制电路始终自动管理离子发生状态和离子平衡
■可通过 1/4 圈拆卸的更换 电极有助于减少维护人员-小时。MP
方法具有非常小的电位摆幅，这简化了设置。此外，小的电位摆幅有效地起到了将离子平衡长期保持在控制标准内的作用
。杆的长度根据EFEM设置半导体前端工艺
■紧凑型设计，内置 24V DC 驱动控制器
■全球范围内的高级支持网络
规格
型号 5635 AeroBar MP
| 输入电压 | 24V 直流+/-10% |
|---|---|
| 输出电压 | 高达约 13.5kv pp 可调 |
| 安装距离 | 100mm 至 1000mm（无空气吹扫） |
| 离子发生方式 | 电晕放电方式 MP（脉冲调制）方式 调制频率 1 ～ 33 Hz |
| 离子平衡 | 自动平衡 条内 <+/-10V 条正下方 位置差 <+/-10v （600 mm 距离） |
| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 吹扫气体 | 清洁干燥空气或N2 |
| 最大吹扫压力 | 310Kpa |
| 臭氧量 | <0.05ppm（24小时积分值） |
| 信号输出 | 报警IO集电极开路输出 |
| 尺寸 | 高78mm x 深34mm x 长度 450/600 /850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350mm 以下 |
| 外部的 | ABS树脂 |