SIMCO思美高 离子发生器反馈控制器型号 3350/3360
SIMCO思美高 离子发生器反馈控制器型号 3350/3360产品信息NOVX型号3350/3360系列可以根据传感器处的电位测量结果对离子发生器进行离子平衡控制,还可以实时记录和报告电位变化,这种电位控制系统非常适合硬盘制造需要静电控制的工艺和半导体制造工艺。特征■可对多个(最多3通道)离子发生器进行离子平衡控制。与ION Systems型号5802/5810/5822组合可进行+/-1v控制。
SIMCO思美高 离子发生器反馈控制器型号 3350/3360产品信息NOVX型号3350/3360系列可以根据传感器处的电位测量结果对离子发生器进行离子平衡控制,还可以实时记录和报告电位变化,这种电位控制系统非常适合硬盘制造需要静电控制的工艺和半导体制造工艺。特征■可对多个(最多3通道)离子发生器进行离子平衡控制。与ION Systems型号5802/5810/5822组合可进行+/-1v控制。
SIMCO思美高 离子发生器反馈控制器型号 3350/3360
■可对多个(最多3通道)离子发生器进行
离子平衡控制
。与ION Systems型号5802/5810/5822组合可进行+/-1v控制。可任意设定。■
支持RS-485或以太网通信
。数字处理电路,还可以任意设置,以避免尖峰噪声信号的报警检测。
Model3350/3360 控制器
输入电压 | +/-12V、+5V DC 由随附的电源供电。 电源输入电压 AC100-240V, 50/60Hz |
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最大连接传感器数量 | 3 |
离子发生器离子平衡输出 | 3个频道 |
电位检测范围 | +/-100v |
准确性 | +/-0.1v |
报警设定点 | 任何 |
零电压调整 | 任何 |
衰减测量功能 | 仅限 3360。3个频道 |
沟通 | RS-485 或EthernetIO(集电极开路) |
尺寸 | 宽 44 毫米 x 高 152 毫米 x 深 154 毫米 |
重量 | 0.82公斤 |
外部的 | 不锈钢 |