用法真空干燥 电极干燥 真空消泡 真空成型 真空包装 真空灌装 吸附转移 气相沉积 气体置换 电子显微镜 加速器 质谱仪 离心机 冷冻干燥 蒸发器 涡轮分子泵后级泵 蒸汽排放 溶剂排放 排氦气 等离子清洗机等