日本HORIBA堀场半导体制程溶解氧浓度监测仪HD-960LR
日本HORIBA堀场半导体制程溶解氧浓度监测仪HD-960LR 最新款传统型号高流量/长寿命型号高流量型号（用于循环化学品）低流量型（药液排出时）模型HD-960LRHD-960L-MHD-960L传感器单元尺寸W170 (200) x H95 x D135W120 (150) x H95 x D108W87 (117) x H131 x D94流量范围600 - 2000 毫升/分钟（25 µm
日本HORIBA堀场半导体制程溶解氧浓度监测仪HD-960LR
| 最新款 | 传统型号 | ||
|---|---|---|---|
| 高流量/长寿命型号 | 高流量型号（用于循环化学品） | 低流量型（药液排出时） | |
| 模型 | HD-960LR | HD-960L-M | HD-960L |
| 传感器单元尺寸 | W170 (200) x H95 x D135 | W120 (150) x H95 x D108 | W87 (117) x H131 x D94 |
| 流量范围 | 600 - 2000 毫升/分钟（25 µm 传感器厚度） 400 - 2000 毫升/分钟（50 µm 传感器厚度） | 200 - 2000 毫升/分钟 （传感器薄膜厚度 25 µm / 50 µm） | 15 - 200 毫升/分钟 （传感器薄膜厚度 25 µm / 50 µm） |
| 温度范围 | 20-60℃ | 20-60℃ | 10-45℃ |
| 压力范围 | 0 - 0.2兆帕 | 0 - 0.2兆帕 | 0 - 0.01兆帕 |
| 响应速度 | 30 秒 (90%) @ 400 毫升/分钟 | 30 秒 (90%) @ 400 毫升/分钟 | 30 秒 (90%) @ 200 毫升/分钟 |
| 目标化学品 | 氨水(1%) ＠标准沸点比水高的有机溶剂 | 纯水 低浓度HF（HF浓度5700ppm以下） | 纯水 低浓度HF（HF浓度5700ppm以下） |
| 设备配置 | 转换器单元：HD-960LR 传感器单元：DO-120 瓶子单元：DO-120-B 传感器：5622 连接电缆：CK-05PS (5m) 中继电缆：CK-01DO (1m) | 转换器单元：HD-960L-M 传感器单元：DO-110 传感器：5611 连接电缆：CK-05PS (5m) | 转换器单元：HD-960L 传感器单元：DO-100 传感器：5600 连接电缆：CK-05PS (5m) |