池田屋现货 Yokogawa横河 低浓度氧化锆氧分析仪 OX400
池田屋现货 Yokogawa横河 低浓度氧化锆氧分析仪 OX400池田屋现货 Yokogawa横河 低浓度氧化锆氧分析仪 OX400在半导体扩散炉、手套箱或惰性气体保护工艺中，氧含量需要控制在 ppm 级别，常规 vol% 量程的氧分析仪分辨率不够。OX400 是横河的低浓度氧化锆氧分析仪，一台设备覆盖 0–10 ppm O₂ 到 0–100 vol% O₂ 的测量范围，从痕量到常量不用换仪器。氧
池田屋现货 Yokogawa横河 低浓度氧化锆氧分析仪 OX400
池田屋现货 Yokogawa横河 低浓度氧化锆氧分析仪 OX400
在半导体扩散炉、手套箱或惰性气体保护工艺中，氧含量需要控制在 ppm 级别，常规 vol% 量程的氧分析仪分辨率不够。OX400 是横河的低浓度氧化锆氧分析仪，一台设备覆盖 0–10 ppm O₂ 到 0–100 vol% O₂ 的测量范围，从痕量到常量不用换仪器。
氧化锆传感器采用了横河专有的薄膜沉积技术，在氧化锆元素和铂层之间建立分子联接，防止剥离的同时减小传感器尺寸，实现快速响应和长寿命。横河官方称其寿命约为以往产品的 3 倍。重复性 ±1% F.S.，线性度 ±2% F.S.（0–100 ppm 以下为 ±3% F.S.），90% 响应在 0–1 vol% 以上为 10 秒以内。采样方式可选泵吸、射流或自然扩散，传感器可在现场更换，入口出口用 O 型圈密封、手拧螺母固定，维护时不需要把整台仪器拆下来。内置自诊断功能覆盖传感器异常、加热器温度异常、温度传感器断线和传感器电阻值异常，提前预警而不是等到测量失准才停机。适用于半导体制造中的氧气浓度控制、锡焊炉和回流焊炉气氛监测、粉料运输中的粉尘爆炸预防，以及惰性气体泄漏检查。
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