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池田屋百万现货直售FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C001-Y-91-CP

池田屋百万现货直售FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C001-Y-91-CP池田屋百万现货直售FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C001-Y-91-CP产品概述C001-Y-91-CP 是日本 FLUORO(福乐)C 系列中的一款 ESD 安全真空吸笔,专为处理 150mm(6 英寸)半导体硅晶圆而设计。笔身采用导电尼龙材质,吸笔头采用导电 PEEK 材质,可减少静电对晶圆的影响。该型号采

池田屋百万现货直售FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C001-Y-91-CP

池田屋百万现货直售FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C001-Y-91-CP

产品概述

C001-Y-91-CP 是日本 FLUORO(福乐)C 系列中的一款 ESD 安全真空吸笔,专为处理 150mm(6 英寸)半导体硅晶圆而设计。笔身采用导电尼龙材质,吸笔头采用导电 PEEK 材质,可减少静电对晶圆的影响。该型号采用 NC(常闭型)阀门与固定式接头设计,适用于需要精确控制吸取与释放动作的标准化操作场景。

基本结构与工作原理

该吸笔通过外接真空泵产生负压,利用吸笔头与晶圆表面之间形成的真空吸附力拾取晶圆。笔身内置真空阀门,C001-Y-91-CP 采用 NC(常闭型)设计,按住按钮时产生吸附力吸住晶圆,松开按钮后释放晶圆。固定式接头结构相对简洁,吸笔头与笔身呈固定角度连接,在搬运时有助于保持吸附稳定。

型号编码规则

C 系列型号按以下各段组合:

  • 系列名称:C(导电尼龙 ESD 防静电系列)

  • 机身代码:001 表示短款标准机身

  • 阀门类型:NC 表示常闭型,按住按钮吸气

  • 连接类型:Y 表示固定式接头

  • 吸笔头编码:91 表示 6 英寸晶圆用;CP 表示导电防静电吸笔头

以 C001-Y-91-CP 为例,对应为 C001 短款机身、NC 常闭阀、固定式接头、6 英寸晶圆用导电吸笔头。需注意,笔身(C001-Y)与吸笔头(91-CP)需分别订购。

主要技术参数

  • 型号:C001-Y-91-CP

  • 适用晶圆尺寸:6 英寸(150mm)

  • 阀门类型:NC(常闭型)

  • 连接类型:固定式

  • 笔身材质:导电尼龙

  • 吸笔头材质:导电 PEEK

  • 电阻值范围:10⁶~10⁸ Ω

  • 长度:241mm

  • 重量:约 25g

结构与功能特点

该产品的笔身采用导电尼龙材质,可形成静电泄放通路,减少静电在笔身积聚的可能。吸笔头采用导电 PEEK 材质,电阻值在 10⁶~10⁸ Ω 范围内,在提供吸附力的同时兼顾 ESD 防护性能。固定式接头结构在搬运较重晶片时能避免因接头活动导致的吸附不稳。NC 常闭型阀门设计确保半导体晶圆的可靠吸取与释放,适用于需要精确控制操作流程的场合。产品整体结构紧凑、重量较轻,适合长时间手持操作。

适用场景

该产品适用于 6 英寸半导体晶圆的搬运与转移,可用于晶圆在工艺设备间的取放操作。在半导体制造工序中,可用于对静电敏感的半导体器件的安全操作及洁净室环境中的晶圆处理。标准化流水线作业中,固定式接头的简洁结构有助于保持操作一致性。

使用说明

使用时需连接真空泵产生负压。C001-Y-91-CP 为常闭型设计,按住按钮时吸住晶圆,松开按钮后释放。更换吸笔头时需确认与笔身的连接是否紧固。长期使用后需检查管路密封性,避免因泄漏导致吸附力下降。吸笔头属于耗材,可根据磨损情况单独更换。建议配合专用真空泵和 ESD 安全管使用。

生产厂商

FLUORO(福乐)是一家拥有超过 50 年精密工具制造经验的厂商,产品线涵盖真空吸笔、晶圆夹、真空泵及配套管线等,面向半导体、光电及科研实验室等领域的精密操作需求。

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