池田屋日本进口FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C003-X-95-CP

池田屋日本进口FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C003-X-95-CP

池田屋日本进口FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C003-X-95-CP

产品概述

C003-X-95-CP 是日本 FLUORO（福乐）C 系列中的一款 ESD 安全真空吸笔，专为处理 125mm（5 英寸）半导体硅晶圆而设计。笔身采用导电尼龙材质，吸笔头采用导电 PEEK 材质，可减少静电对晶圆的影响。该型号采用 NO+SW（常开+机械开关）阀门类型与球状旋转接头设计，适用于需要中途锁定真空或灵活调整角度的精密操作场景。

基本结构与工作原理

该吸笔通过外接真空泵产生负压，利用吸笔头与晶圆表面之间形成的真空吸附力拾取晶圆。C003-X-95-CP 采用 NO+SW 阀门设计：常开状态下靠近晶圆即可吸附，按住笔身上端按钮可释放晶圆；机身配有独立机械开关，按下开关时真空被关断，便于在长时间对位或检测时锁定吸附状态，无需持续按压阀柄。球状旋转接头可调整至所需角度，便于在狭小空间内完成取放操作。

型号编码规则

C 系列型号按以下各段组合：

• 系列名称：C（导电尼龙 ESD 防静电系列）

• 机身代码：003 表示加长深腔机身

• 阀门类型：NO+SW 表示常开型加机械开关

• 连接类型：X 表示球状旋转接头

• 吸笔头编码：95 表示 5 英寸晶圆用；CP 表示导电防静电吸笔头

以 C003-X-95-CP 为例，对应为 C003 机身、NO+SW 阀门、球状旋转接头、5 英寸晶圆用导电吸笔头。需注意，笔身（C003-X，含 106 金属轴）与吸笔头（95-CP）需分别订购。

主要技术参数

• 型号：C003-X-95-CP

• 适用晶圆尺寸：5 英寸（125mm）

• 阀门类型：NO+SW（常开型 + 机械开关）

• 连接类型：球状旋转接头

• 笔身材质：导电尼龙（碳纤维增强）

• 吸笔头材质：导电 PEEK（碳填充）

• 表面电阻率：10⁶～10⁸ Ω，满足 ESD 防静电标准

• 长度：239mm

• 重量：约 23g

结构与功能特点

该产品的笔身采用导电尼龙材质（尼龙 6 加碳纤维增强），可形成静电泄放通路，减少静电在笔身积聚的可能。吸笔头采用导电 PEEK 材质，经机械加工与镜面抛光处理，接触面平整，在提供吸附力的同时可减少对晶圆表面的划伤。阀门内部经抛光处理，有助于减少微粒堆积。球状旋转接头设计便于调整吸笔角度，适应不同工位的操作需求。NO+SW 阀门类型在需要中途暂停吸附、观察晶片或进行角度标定的场合较为适用。

适用场景

该产品适用于 5 英寸半导体晶圆的搬运与转移，可用于晶圆在工艺设备间的取放操作。在半导体制造工序中，可用于探针台测试、研磨、划片、贴膜等环节的手动上下料，以及机台腔体内取样和外观检查。在电子元件组装环节，可配合对应吸笔头完成小型元件的拾取。使用环境以洁净室为主，需配合专用真空泵及 ESD 安全管使用。

使用说明

使用时需连接真空泵产生负压。C003-X-95-CP 为常开型设计，靠近晶圆即可吸附，按住按钮释放；如需锁定真空状态，可按下机身机械开关。更换吸笔头时需确认与笔身的连接是否紧固。长期使用后需检查管路密封性，避免因泄漏导致吸附力下降。吸笔头属于耗材，可根据磨损情况单独更换。相关配件包括真空泵、ESD 安全管、静电耗散接地套件及吸笔支架等。

生产厂商

FLUORO（福乐）是一家从事半导体晶圆处理工具制造的厂商，产品线涵盖真空吸笔、晶圆夹、真空泵及配套管线等，面向半导体、光电及科研实验室等领域的精密操作需求。

NIDEC尼得科 产品购买请咨询池田屋涂工-176O75549O8，原装正品，现货秒发。

优势品牌

EYE 岩崎、SEN 日森、CCS 晰写速、NPM 日脉、REVOX 莱宝克斯、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、TOPCON 拓普康、TOKI 东机产业、NEWKON 新光、HAYASHI 林时计、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、TORAY 东丽、EBARA 荏原、ANALYZER 热研、NFK 南国工业株式会社、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本