池田屋百万库存 FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C001-X-95-CP

池田屋百万库存 FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C001-X-95-CP

池田屋百万库存 FLUORO福乐 ESD安全真空吸笔 C001-X-95-CP

产品概述

C001-X-95-CP 是日本 FLUORO（福乐）C 系列中的一款 ESD 安全真空吸笔，专为 125mm（5 英寸）半导体硅晶圆处理而设计。笔身采用导电尼龙材质，吸笔头采用导电 PEEK 材质，可减少静电对晶圆的影响。产品适用于半导体晶圆制造、电子元件组装及实验室精密操作等场景。

基本结构与工作原理

该吸笔通过外接真空泵产生负压，利用吸笔头与晶圆表面之间形成的真空吸附力拾取晶圆。笔身内置真空阀门，通过按压上端按钮控制吸附与释放动作。C001-X-95-CP 采用球状旋转接头（Ball Swivel Joint），可在操作过程中灵活调整吸笔头角度，适应不同工位的操作姿势。吸笔头表面经光学抛光处理，与晶圆之间可形成较好的贴合，有助于减少划伤。

型号编码规则

C 系列型号按以下各段组合：

• 系列名称：C（导电尼龙 ESD 防静电系列）

• 机身长度代码：001 表示短款标准机身；002 表示标准长款机身；003 表示加长深腔机身

• 阀门类型：NC 表示常闭型，按住按钮吸气；NO 表示常开型，按住按钮释放；NO+SW 表示带开关自锁

• 连接类型：X 表示球状旋转接头；Y 表示固定式；Z 表示固定直杆

• 吸笔头编码：95 表示 5 英寸晶圆用；CP 表示导电防静电吸笔头

以 C001-X-95-CP 为例，对应为 C001 短款机身、NC 常闭阀、球状旋转接头、5 英寸晶圆用导电吸笔头。需注意，笔身与吸笔头需分别订购。

主要技术参数

• 型号：C001-X-95-CP

• 适用晶圆尺寸：5 英寸（125mm）

• 阀门类型：NC（常闭型）

• 连接类型：球状旋转接头

• 笔身材质：导电尼龙

• 吸笔头材质：导电 PEEK

• 长度：239mm

• 重量：约 23g

结构与功能特点

该产品的笔身采用导电尼龙材质，可形成静电泄放通路，减少静电在笔身积聚的可能。吸笔头采用导电 PEEK 材质，在提供吸附力的同时兼顾 ESD 防护性能。球状旋转接头设计便于在狭小空间内调整角度。产品整体结构紧凑、重量较轻，适合长时间手持操作。笔身表面光滑，不易产生粉尘，可满足洁净室的使用要求。

适用场景

该产品适用于 5 英寸半导体晶圆的搬运与转移，可用于晶圆在工艺设备间的取放操作。在电子元件组装环节，可配合对应吸笔头完成小型元件的拾取。在光学元件加工与实验室精密操作中，也可用于精密零件的转移。使用环境以洁净室为主，需配合专用真空泵及 ESD 安全管使用。

使用说明

使用时需连接真空泵产生负压。按住吸笔上端的按钮以吸住晶圆，松开按钮后释放。C001 为常闭型设计，适用于需要按压吸气的操作方式。更换吸笔头时需确认与笔身的连接是否紧固。长期使用后需检查管路密封性，避免因泄漏导致吸附力下降。吸笔头属于耗材，可根据磨损情况单独更换。

生产厂商

FLUORO（福乐）是一家从事半导体晶圆处理工具制造的厂商，产品线涵盖真空吸笔、晶圆夹、真空泵及配套管线等，面向半导体、光电及科研实验室等领域的精密操作需求。

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优势品牌

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