池田屋全国供应 Fluoro福乐 导电PEEK晶圆吸嘴 4英寸导电X/Z型芯片 94

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Fluoromechanic株式会社（氟机械有限公司）位于日本东京江户川区，是专业的半导体晶圆搬运工具制造商，其真空镊子C系列晶圆吸嘴专为化合物半导体、薄晶圆及各类精密晶圆的搬运设计，在日本半导体及电子制造领域拥有广泛应用。

　　本次发布的 94号 4英寸导电X/Z型芯片 属于C系列晶圆吸嘴产品，采用导电PEEK材料制成。导电PEEK兼具PEEK树脂的耐热性、耐化学性和机械强度，同时具备导电性能，可有效防止静电积累对晶圆造成的损伤，特别适用于对静电敏感的化合物半导体及先进制程晶圆。

　　该型号采用X/Z型刚性设计（弯曲过程标注为×），尺寸参数为：厚度T=2.6mm，宽度W=10mm，L1=21mm，L2=30mm，与X轴兼容尺寸106mm，与Z轴兼容尺寸110mm。X/Z型结构适用于需要刚性支撑的吸附场景，在吸附和释放过程中保持稳定，有效减轻晶圆搬运过程中的应力，降低破片风险。适用于4英寸晶圆的搬运作业。

　　C系列导电X/Z型芯片还包括95号（5英寸，T=2.8mm，W=15.5mm）、96号（6英寸，T=3mm，W=27mm）、97号（8英寸，T=3.8mm，W=31mm），用户可根据晶圆尺寸灵活选型。此外，C系列还提供导电Y型尖端（90号、91号、92号、98号、99号）和导电多孔尖端（64号、66号、67号），F系列则提供PEEK材质的X/Z型芯片和Y型芯片，满足不同工艺需求

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