骏河精机 PMZG615M-LA-C 自动XYZ轴直线球导轨平台
骏河精机 PMZG615M-LA-C 自动XYZ轴直线球导轨平台骏河精机 PMZG615M-LA-C 自动XYZ轴直线球导轨平台产品概述:PMZG615M-LA-C是骏河精机(Suruga Seiki)推出的一款自动XYZ三轴直线运动平台,采用直线球导轨和滚珠丝杠(导程1mm),实现高精度的三维空间直线定位。该平台台面尺寸为60×60mm,各轴行程15mm,主体采用不锈钢材质并进行化学镀镍处理,适
骏河精机 PMZG615M-LA-C 自动XYZ轴直线球导轨平台骏河精机 PMZG615M-LA-C 自动XYZ轴直线球导轨平台产品概述:PMZG615M-LA-C是骏河精机(Suruga Seiki)推出的一款自动XYZ三轴直线运动平台,采用直线球导轨和滚珠丝杠(导程1mm),实现高精度的三维空间直线定位。该平台台面尺寸为60×60mm,各轴行程15mm,主体采用不锈钢材质并进行化学镀镍处理,适
骏河精机 PMZG615M-LA-C 自动XYZ轴直线球导轨平台
骏河精机 PMZG615M-LA-C 自动XYZ轴直线球导轨平台
PMZG615M-LA-C是骏河精机(Suruga Seiki)推出的一款自动XYZ三轴直线运动平台,采用直线球导轨和滚珠丝杠(导程1mm),实现高精度的三维空间直线定位。该平台台面尺寸为60×60mm,各轴行程15mm,主体采用不锈钢材质并进行化学镀镍处理,适用于精密测量、光学元件定位、半导体制造等需要高精度XYZ三轴直线运动的应用场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | PMZG615M-LA-C |
| 舞台表面尺寸 | 60mm × 60mm |
| 行程(X/Y/Z) | 各轴15mm |
| 负载能力 | 5kgf(约49N) |
| 导轨方式 | 直线球导轨 |
| 滚珠丝杠直径-导程 | φ6mm - 导程1mm |
| 分辨率 | 2μm/脉冲(整步) |
| 最大速度 | 10mm/s |
| 单向定位精度 | 6μm |
| 重复定位精度 | ±0.5μm |
| 运动损失 | 1μm |
| 直线度 | 1μm |
| 俯仰 | ≤15″ |
| 偏摆 | ≤10″ |
| 垂直度(全行程) | 5μm |
| 主体材质 | 不锈钢 - 化学镀镍处理 |
| 连接器规格 | 面板安装 |
| 传感器盖位置 | L位置(X轴:L / Y轴:R / Z轴:L) |
| 传感器逻辑 | NC(常闭) |
| 传感器数量 | 3个传感器(限位×2 + 原点×1) |
| 重量 | 2.34kg |
一、控制器兼容性
兼容DS102/DS112控制器
需确认连接电缆规格
二、电机选项
采用5相步进电机(标准型)
提供标准扭矩输出,适用于通用三维定位应用
三、电缆选项
附带电缆:无电缆(需另行选配)
可根据需要选择标准电缆、机器人电缆、一端裸露等规格
四、导轨方式
采用直线球导轨,实现平滑、高精度的三维运动
重复定位精度±0.5μm
| 选项类别 | 可选内容 |
|---|---|
| 连接器规格 | 面板安装 / 尾缆 / 无通用连接器 |
| 传感器盖位置 | L位置 / R位置 / 各轴独立设定 |
| 传感器逻辑 | NC(常闭)/ 全NO / 混合配置 |
| 传感器数量 | 3个传感器 / 4个传感器 |
| 电机选项 | 5相标准 / 5相高扭矩 / 5相高分辨率 / 2相步进 / 带电磁制动器 / AC伺服 / αSTEP |
| 电缆选项 | 无电缆 / 仅连接器 / 标准电缆2/4m / 机器人电缆2/4m |
| 润滑脂 | 标准 / 洁净(AFF/LG2) / 真空(Fomblin YVAC2) |
| 电机类型 | 型号前缀 | 最大速度 | 分辨率 |
|---|---|---|---|
| 标准型(5相) | -C | 10mm/s | 2μm/脉冲 |
| 高扭矩(5相) | -D | 30mm/s | 2μm/脉冲 |
| 高分辨率(5相) | -E | 25mm/s | 1μm/脉冲 |
| 2相步进 | -T | 10mm/s | 5μm/脉冲 |
| 轴 | 传感器盖位置 |
|---|---|
| X轴 | L位置(左侧) |
| Y轴 | R位置(右侧) |
| Z轴 | L位置(左侧) |
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 精密测量仪器 | 三维空间的高精度定位 |
| 光学元件定位 | 透镜、棱镜等光学元件的三维精密定位 |
| 半导体制造 | 晶圆检测工序的三维定位 |
| 光纤对准 | 光纤与光器件的三维方向精密对准 |
| 显微镜系统 | 样品台的三维精密定位 |
骏河精机PMZG615M-LA-C自动XYZ平台通过三轴一体化设计、直线球导轨与滚珠丝杠(导程1mm)的高精度组合(重复定位精度±0.5μm、垂直度5μm)、不锈钢主体(化学镀镍处理)及丰富的选配选项(传感器配置/电机类型/电缆规格/润滑脂),为精密测量、光学元件定位、半导体制造等需要高精度三维空间定位的应用场景提供了紧凑、高性价比的解决方案。
| 产品 | 说明 |
|---|---|
| DS102/DS112 | 步进电机控制器 |
| DT100 | 手持终端 |
| DSCONTROL-WIN | DS102/112系列控制软件 |
| D214-2-N/R/NA/RA | 自动舞台电缆 |
| DC24V/AC100V | 步进电机驱动器 |