Fluoro Mechanic F003-X-02-VP Vespel®真空吸杆（Teflon®笔身/高温耐磨损应用）Fluoro Mechanic F003-X-02-VP Vespel®真空吸杆（Teflon®笔身/高温耐磨损应用）产品概述：Fluoro Mechanic F003-X-02-VP是一款专为安全处理微小精密元器件设计的真空吸杆，适用于芯片和小直径半导体晶圆的拾取与放置。笔身采用
Fluoro Mechanic F003-X-02-VP是一款专为安全处理微小精密元器件设计的真空吸杆，适用于芯片和小直径半导体晶圆的拾取与放置。笔身采用Teflon®材质，吸头采用Vespel®材质，具有优异的耐高温、耐磨损和低释气特性。
该型号为常开+机械开关（NO+SW）阀门设计，球状旋转接头提供灵活操作角度，配备机械开关提供更精确的操作控制。
一、Vespel®吸头（02-VP）
材质：Vespel®（聚酰亚胺），杜邦公司高性能工程塑料
特性：褐色，硬质，耐高温（长期300°C）、耐磨损、低释气
应用：适用于高温工艺环境、真空环境（低释气）及需要高耐磨性的精密元器件处理
二、常开+机械开关（NO+SW）阀门类型
阀门类型：NO+SW（常开型 + 机械开关）
操作方式：通过机械开关控制真空通断
提供更精确、更可靠的吸取和释放控制
三、Teflon®笔身
材质：Teflon®（PTFE），表面光滑且不粘附，耐化学性优异
笔身材质柔软，可弯曲，有效防止对工件的冲击
适用于对表面质量要求极高的精细操作
四、球状旋转接头（X型）
连接类型：球状旋转接头（Ball Swivel Joint）
可根据需要调整至任意角度，操作灵活，适应不同作业姿势
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | F003-X-02-VP |
| 品牌 | Fluoro Mechanic（福乐/FLUORO） |
| 阀门类型 | NO+SW（常开型 + 机械开关） |
| 关节类型 | 球状旋转接头（Ball Swivel） |
| 笔身材质 | Teflon®（PTFE） |
| 吸头材质 | Vespel®（聚酰亚胺，褐色） |
| 吸头编码 | 02-VP |
| 笔身编码 | F003-X（含106） |
| 适用场景 | 芯片、小直径晶圆、高温工艺、真空环境、精确控制 |
耐高温：可长期在300°C环境下使用，适用于高温工艺
耐磨损：优异的耐磨性能，使用寿命长
低释气：适用于真空环境，不会污染腔体
尺寸稳定：在高温下保持良好的尺寸稳定性
| 型号 | 阀门类型 | 关节类型 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| F001-X-02-VP | NC（常闭） | 球状旋转接头 | 需精确控制吸放，灵活角度 |
| F002-X-02-VP | NO（常开） | 球状旋转接头 | 快速连续操作，灵活角度 |
| F003-X-02-VP | NO+SW | 球状旋转接头 | 带机械开关，灵活角度，精确控制 |
| 项目 | PEEK（02-PK） | Vespel®（02-VP） | PCTFE（02-3F） |
|---|---|---|---|
| 材质 | 导电PEEK | Vespel® | PCTFE |
| 颜色 | 黑色 | 褐色 | 透明/半透明 |
| 耐温性 | ~260°C | 300°C（长期） | -200°C |
| 导电性 | 导电（ESD防护） | 非导电 | 非导电 |
| 适用场景 | 常温ESD敏感 | 高温/真空 | 低温/强腐蚀 |
高温工艺中的晶圆/芯片搬运
真空环境（如镀膜设备、PVD/CVD）中的元器件处理
需要耐磨性的精密元器件拾取
对低释气有要求的洁净室操作
需要精确控制吸取/释放的操作流程
笔身和吸头需要分别订购：请同时订购笔身（F003-X，含106）和吸头（02-VP）
建议配合专用真空泵使用
Vespel®为非导电材质，如需ESD防护请选择PEEK吸头（02-PK）
