池田屋精品！MIYUKI AE-40气动L型阀
池田屋精品！MIYUKI AE-40气动L型阀池田屋精品！MIYUKI AE-40气动L型阀一、产品概述三幸株式会社（MIYUKI Co., Ltd.）推出的 AE 系列气动 L 型阀，是一款采用 O 形圈轴密封的真空用直角阀。型号 AE-40 口径为 40A，适配 KF(NW)、JIS、CF 等多种法兰规格，支持单作用与双作用两种气缸模式。该产品设计可承受反向压力，适用于半导体制造、真空镀膜等需
池田屋精品！MIYUKI AE-40气动L型阀
池田屋精品！MIYUKI AE-40气动L型阀
一、产品概述
三幸株式会社（MIYUKI Co., Ltd.）推出的 AE 系列气动 L 型阀，是一款采用 O 形圈轴密封的真空用直角阀。型号 AE-40 口径为 40A，适配 KF(NW)、JIS、CF 等多种法兰规格，支持单作用与双作用两种气缸模式。该产品设计可承受反向压力，适用于半导体制造、真空镀膜等需要对真空管路进行方向切换或隔离的工艺场景。
二、产品规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | AE-40 |
| 系列 | AE 系列 |
| 类型 | 气动 L 型阀 |
| 口径 | 40A |
| 法兰规格 | KF(NW) / JIS / CF |
| 轴密封方式 | O 形圈密封 |
| 气缸形式 | 单作用 / 双作用（两用） |
| 泄漏量 | 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s 以下 |
| 使用压力范围 | 10⁵ ～ 10⁻⁵ Pa |
| 所需气源压力 | 0.4 ～ 0.6 MPaG |
| 使用寿命 | 5 × 10⁵ 次 |
| 材质（本体） | SUS304 |
| 阀体密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 轴密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 近接开关 | 可选配 |
| 耐热使用温度 | 本体 150℃以下（带近接开关时 70℃以下） |
三、核心设计特征
1. L 型流路设计
采用 L 型（直角）流路结构，适用于真空管路的方向切换或分支隔离，节省安装空间。
2. O 形圈轴密封
AE 系列采用氟橡胶 O 形圈轴密封，结构简单，适用于对泄漏要求为 1×10⁻⁸ Pa·m³/s 以下的常规真空工艺。
3. 单作用/双作用两用气缸
16A～50A 口径的气缸支持单作用（弹簧复位）与双作用两种模式，可根据系统需求灵活选择。
4. 反向压力承受设计
所有规格均设计为可承受反向压力，适用于真空系统可能面临反向压差的工况。
5. 多种法兰规格可选
支持 KF(NW)、JIS、CF 三种法兰规格，适配不同真空系统的接口标准。
6. 可选近接开关
可选项配近接开关，用于检测阀门开闭状态，便于系统集成与远程监控。
四、AB/AE 系列对比
| 项目 | AB 系列 | AE 系列 |
|---|---|---|
| 轴密封方式 | 波纹管密封 | O 形圈密封 |
| 泄漏量 | 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下 | 1×10⁻⁸ Pa·m³/s 以下 |
| 使用压力范围 | 10⁵ ～ 10⁻⁶ Pa | 10⁵ ～ 10⁻⁵ Pa |
| 轴封材质 | SUS316L 焊接波纹管 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 适用场景 | 超高真空、低泄漏要求 | 一般真空、常规工艺 |
五、AE 系列口径与性能参数
| 型号 | 口径 | 法兰规格 | 轴封方式 | 泄漏量（Pa·m³/s） | 使用寿命（次） |
|---|---|---|---|---|---|
| AE-16 | 16A | KF/JIS/CF | O 形圈 | ≤1×10⁻⁸ | 5×10⁵ |
| AE-25 | 25A | KF/JIS/CF | O 形圈 | ≤1×10⁻⁸ | 5×10⁵ |
| AE-40 | 40A | KF/JIS/CF | O 形圈 | ≤1×10⁻⁸ | 5×10⁵ |
| AE-50 | 50A | KF/JIS/CF | O 形圈 | ≤1×10⁻⁸ | 5×10⁵ |
六、典型应用场景
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| 半导体制造 | 真空管路的方向切换与隔离 |
| 真空镀膜 | 溅射、蒸镀等工艺的真空切换 |
| 真空热处理 | 真空炉的排气与隔离 |
| 科研实验 | 实验室真空系统的方向控制 |
七、选型要点
确认所需口径（16A ～ 250A）
确认法兰规格（KF/JIS/CF）
确认轴密封方式（AE：O 形圈 / AB：波纹管）
确认气缸模式（单作用或双作用）
确认系统压力范围与泄漏要求
确认是否需要近接开关（选项）
确认使用环境温度（本体 150℃以下）