池田屋！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22H
池田屋！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22H池田屋！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22H "Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。 特点特别适用于大型成膜设备。水的排气速度最高。标准规格排气速度(2
池田屋！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22H
池田屋！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22H
"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
特别适用于大型成膜设备。
水的排气速度最高。
标准规格
排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 17,000 |
氢 | 25,000 | ||
氩 | 14,000 | ||
水 | 39,000 | ||
极限压力 | Pa(Torr) | 10-7 (10-9) | |
最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 4.1×103 (31) |
排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 8.1×108 (6.1×106) |
氢 | 8.5×106 (6.4×104) | ||
冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 150/135 (50/60) | |
吸气口法兰 | VG-550 | ||
压缩机组 | C30VRT×2 | ||
重量 | Kg | 125.0 | |
*保养周期：16,000小时
U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment
外形尺寸 (单位:mm)
