日本进口！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22P
日本进口！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22P日本进口！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22P "Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。 标准规格排气速度(20℃)氮L/s11,500氢14,000氩
日本进口！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22P
日本进口！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U22P
"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
标准规格
排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 11,500 |
氢 | 14,000 | ||
氩 | 9,700 | ||
水 | 39,000 | ||
极限压力 | Pa(Torr) | 10-7 (10-9) | |
最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.7×103 (12.8) |
排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108 (4.4×106) |
氢 | 6.0×106 (4.5×104) | ||
冷却下降时间 | min(Hz) | 180/170 (50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-550 | ||
压缩机组 | C30PVRT | ||
重量 | Kg | 115.0 | |
*保养周期：16,000小时
外形尺寸 (单位:mm)
