原厂全新！！ULVAC爱发科 结构紧凑型低温泵 CRYO-U16
原厂全新！！ULVAC爱发科 结构紧凑型低温泵 CRYO-U16原厂全新！！ULVAC爱发科 结构紧凑型低温泵 CRYO-U16 "Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。 特点最适用于中，大型设备。最适用于批量型大型成膜设备。
原厂全新！！ULVAC爱发科 结构紧凑型低温泵 CRYO-U16
原厂全新！！ULVAC爱发科 结构紧凑型低温泵 CRYO-U16
"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
最适用于中，大型设备。
最适用于批量型大型成膜设备。
热负荷能力强。
标准规格
排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 5,000 |
氢 | 10,000 | ||
氩 | 4,200 | ||
水 | 16,000 | ||
极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.4×103(11.0) |
排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 4.3×108(3.3×106) |
氢 | 2.4×106(1.8×104) | ||
冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 110/100(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-400 | ||
压缩机组 | C30VRT | ||
重量 | Kg | 61.0 | |
*维护周期：16,000小时
*移动托盘可选
外形尺寸 (单位:mm)
