直销！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U4H
直销！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U4H直销！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U4H"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。 特点最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。高排气速度有助于提高排气效率
直销！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U4H
直销！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U4H
"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。
根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
1台压缩机最多可以运行四台泵。
可以根据您的应用进行设计和制造。
标准规格
排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 450 |
氢 | 500 | ||
氩 | 370 | ||
水 | 1,100 | ||
极限压力 | Pa | 10-7 | |
最大流量 | 氩 | Pa・L/s | 1.3×103 |
排气容量 | 氩 | Pa・L | 1.0×107 |
氢 | 1.5×105 | ||
冷却下降时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
重量 | Kg | 14.5 | |
外形尺寸 (单位:mm)
