ULVAC爱发科

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EGN系列是新开发的金属沉积用电子束蒸发源,着眼于提高可维护性。

采用平顶结构,

减少了电子束蒸发源上沉积的薄膜面积,实现了高可维护性。


特征

采用平顶结构,减少了电子束蒸发源上沉积的薄膜面积,使清洗变得容易。

采用新的发射器结构,与传统型号相比,零件数量减少了 60%,易于组装。

可以选择适合金属沉积的带状束和最适合氧化物/化合物的点状束。

将作为设备制造商积累的专业知识反馈给设计


目的

电子束蒸发用蒸发源


规格

模型EGN-206MEGN-406M
电子束偏转角270°270°
坩埚数量66
坩埚容量20cc40cc
冷却水量10升/分钟10升/分钟
外形尺寸 宽×深×高267毫米×343毫米×150毫米267毫米×343毫米×150毫米
重量28公斤28公斤





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