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ULVAC爱发科 池田屋EGK-3金属薄膜用器具 实验用、小规模生产用

EGN系列是新开发的金属沉积用电子束蒸发源，着眼于提高可维护性。

采用平顶结构，

减少了电子束蒸发源上沉积的薄膜面积，实现了高可维护性。

特征

采用平顶结构，减少了电子束蒸发源上沉积的薄膜面积，使清洗变得容易。

采用新的发射器结构，与传统型号相比，零件数量减少了 60%，易于组装。

可以选择适合金属沉积的带状束和最适合氧化物/化合物的点状束。

将作为设备制造商积累的专业知识反馈给设计

目的

电子束蒸发用蒸发源

规格