ULVAC爱发科池田屋 EGN-206M金属沉积用电子专用电源
ULVAC爱发科池田屋 EGN-206M金属沉积用电子专用电源EGN系列是新开发的金属沉积用电子束蒸发源，着眼于提高可维护性。采用平顶结构，减少了电子束蒸发源上沉积的薄膜面积，实现了高可维护性。特征采用平顶结构，减少了电子束蒸发源上沉积的薄膜面积，使清洗变得容易。采用新的发射器结构，与传统型号相比，零件数量减少了 60%，易于组装。可以选择适合金属沉积的带状束和最适合氧化物/化合物的点状束。将作为
ULVAC爱发科池田屋 EGN-206M金属沉积用电子专用电源
EGN系列是新开发的金属沉积用电子束蒸发源，着眼于提高可维护性。
采用平顶结构，
减少了电子束蒸发源上沉积的薄膜面积，实现了高可维护性。
特征
采用平顶结构，减少了电子束蒸发源上沉积的薄膜面积，使清洗变得容易。
采用新的发射器结构，与传统型号相比，零件数量减少了 60%，易于组装。
可以选择适合金属沉积的带状束和最适合氧化物/化合物的点状束。
将作为设备制造商积累的专业知识反馈给设计
目的
电子束蒸发用蒸发源
规格
| 模型 | EGN-206M | EGN-406M |
| 电子束偏转角 | 270° | 270° |
| 坩埚数量 | 6 | 6 |
| 坩埚容量 | 20cc | 40cc |
| 冷却水量 | 10升/分钟 | 10升/分钟 |
| 外形尺寸 宽×深×高 | 267毫米×343毫米×150毫米 | 267毫米×343毫米×150毫米 |
| 重量 | 28公斤 | 28公斤 |