ULVAC爱发科RFS-1330N单元集成射频电源，化学气相沉积设备用

池田屋ULVAC爱发科RMG-1303 单元集成射频电源，具有13.56MHz、300W输出

池田屋ULVAC爱发科RFS-1305N单元集成射频电源，具有13.56MHz、300W输出

ULVAC爱发科RFS-1310N单元集成射频电源，化学气相沉积设备用

ULVAC爱发科RFS-1330N单元集成射频电源，化学气相沉积设备用

RMG-1303是一款匹配单元集成射频电源，具有13.56MHz、300W输出，适用于射频溅射和等离子CVD蚀刻等等离子工艺。

通过集成匹配单元和射频电源，我们实现了尺寸和重量的减小。

可以进行低输出控制，可用于从研究开发应用到量产设备的广泛领域。

特征

可以用低输出功率进行控制。

可以用1W的低输出功率进行控制。

标准配备脉冲 RF 输出功能 标准配备

500Hz 至 100KHz 的脉冲 RF 输出功能。可进行低输出功率控制。

标准配备外部同步端子 标准配备

叠加运行时使用的13.56MHz同步信号输入/输出端子

（BNC端子）

AC100V～AC220V宽输入范围

单相100V～220V/50Hz～60Hz宽输入范围

紧凑轻量

200mm x 200mm x 350mm / 10Kg，小型轻量电源

兼容各种标准：

RoHS、CE、KC、SEMI-F47 兼容

目的

溅射设备

化学气相沉积设备

等离子清洗设备

等离子蚀刻设备

等离子灰化装置

射频离子源

射频中和器