池田屋ULVAC爱发科 双极性脉冲输出电源装置MFU-20K
池田屋ULVAC爱发科 双极性脉冲输出电源装置MFU-20KMFU-20K 是一种通过将直流输出添加到 ULVAC 直流电源来将其转换为双极性脉冲输出的装置。以低成本实现提高产量和吞吐量。特征可在10kHz 至 100kHz 的宽频率范围内使用 通过主/从连接可实现大容量，最多可并联运行 6 台。也可直流输出输入直流电源的输出可直接加到阴极 目的FPD用反应溅射设备工业涂料反应溅射设备彩色TFT用
池田屋ULVAC爱发科 双极性脉冲输出电源装置MFU-20K
MFU-20K 是一种通过将直流输出添加到 ULVAC 直流电源来将其转换为双极性脉冲输出的装置。
以低成本实现提高产量和吞吐量。
特征
可在10kHz 至 100kHz 的宽频率范围内使用
通过主/从连接可实现大容量，
最多可并联运行 6 台。
也可直流输出
输入直流电源的输出可直接加到阴极
目的
FPD用反应溅射设备
工业涂料反应溅射设备
彩色TFT用反应溅射设备
通用溅射设备
规格
| 模型 | MFU-20K | |
| 控制电源输入 | 输入电压 | AC100V/AC240V |
| 变化范围 | 交流90~264V | |
| 相数、频率 | 单相50/60Hz | |
| 输入容量 | 400伏安 | |
| 输入规格 | 工作电压 | 0～-1000V *1 |
| 点火电压 | -1200V | |
| 工作电流 | 50A | |
| 输出规格 | 最大输出电压 | 1000V（有效值）*1 |
| 点火电压 | 直流-1200V | |
| 最大输出电流 | 50A | |
| 振荡频率 | 10k～100kHz *2 | |
| 责任 | 10-90% *3 | |