ULVAC爱发科 A2K-20K异常放电防止装置 彩色TFT用反应溅射设备

ULVAC爱发科 A2KH-25异常放电防止装置 彩色TFT用反应溅射设备

ULVAC爱发科 A2K-20K异常放电防止装置 彩色TFT用反应溅射设备

A2K系列是一种异常放电防止装置，通过在反应溅射过程中向直流电源施加正电压脉冲来中和靶材上的电荷。

它可以轻松安装到现有设备中，以低成本提高产量和吞吐量。

特征

高吞吐量

通过减少异常放电可以实现高功率输入

减少电路板损坏

可减少电弧引起的电路板损坏

抑制基板温度

与RF溅射相比，可以抑制基板温度

轻松连接

可连接至现有设备 *1

反向脉冲频率可

在A2KH-25：1kHz至20kHz、A2K-20K/40K：1kHz至50kHz范围内更改

脉冲同步系统

可以实现多个A2K的输出脉冲同步*2 *3

可通过主从连接增加容量，

最多可并行运行 6 台 A2K-20K 和 40K。

应用：脉冲同步系统

目的

FPD用反应溅射设备

工业涂料反应溅射设备

彩色TFT用反应溅射设备