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日本ULVAC爱发科DC-20-4-AM直流电源 无需冷却水冷却

DC-10-D和DC-20-D是溅射用直流电源，输出功率为10kW和20kW。它由可靠的零件和电路组成。

这是一款高度可靠的电源，适合等离子负载，并将多年来积累的专业知识（包括电源应用）融入到其设计中。

特征

丰富的高性能选项

轻量化、节省空间的设计

产品阵容包括输出电压范围 800V 和 1000V 规格

深入了解等离子体的输出控制

强制风冷方式无需冷却水

配备优良的ARC功能和高速ARC截止电路

最多可并联运行 12 台机组 (240kW)

兼容 RoHS、CE、SEMI-F47

目的

FPD用溅射设备

半导体溅射设备

电子元件溅射设备

工业涂料溅射设备