ULVAC爱发科

日本ULVAC爱发科 小容量DC電源DC-2

日本ULVAC爱发科 小容量DC電源DC-2DC -2和DC-4是溅射用直流电源,输出功率为2kW和4kW。高控制精度提供出色的重复性并实现更高质量的过程。特征控制精度高即使在10%以下的低功率范围内也能高精度输出设定值的±1%宽精度保证宽功率精度保证从 1% 到 100%轻巧、节省空间的设计,具有出色的安装性能。无需冷却水:采用强制风冷系统,无需冷却水。作为高度可靠的设备制造商积累的专业知识被反

日本ULVAC爱发科 小容量DC電源DC-2


DC -2和DC-4是溅射用直流电源,输出功率为2kW和4kW。

高控制精度提供出色的重复性并实现更高质量的过程。


特征

控制精度高

即使在10%以下的低功率范围内也能高精度输出设定值的±1%

宽精度保证

宽功率精度保证从 1% 到 100%

轻巧、

节省空间的设计,具有出色的安装性能。

无需冷却水:

采用强制风冷系统,无需冷却水。

作为高度可靠的设备制造商

积累的专业知识被反馈到设计中。


目的

研发用溅射设备

各种成膜设备偏置电源



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