日本ULVAC爱发科 小容量DC電源DC-2
日本ULVAC爱发科 小容量DC電源DC-2DC -2和DC-4是溅射用直流电源，输出功率为2kW和4kW。高控制精度提供出色的重复性并实现更高质量的过程。特征控制精度高即使在10%以下的低功率范围内也能高精度输出设定值的±1%宽精度保证宽功率精度保证从 1% 到 100%轻巧、节省空间的设计，具有出色的安装性能。无需冷却水：采用强制风冷系统，无需冷却水。作为高度可靠的设备制造商积累的专业知识被反
日本ULVAC爱发科 小容量DC電源DC-2
DC -2和DC-4是溅射用直流电源，输出功率为2kW和4kW。
高控制精度提供出色的重复性并实现更高质量的过程。
特征
控制精度高
即使在10%以下的低功率范围内也能高精度输出设定值的±1%
宽精度保证
宽功率精度保证从 1% 到 100%
轻巧、
节省空间的设计，具有出色的安装性能。
无需冷却水：
采用强制风冷系统，无需冷却水。
作为高度可靠的设备制造商
积累的专业知识被反馈到设计中。
目的
研发用溅射设备
各种成膜设备偏置电源