日本ULVAC爱发科 大摆阀（闸阀）VFR-500有机EL制造设备

日本ULVAC爱发科 大摆阀（闸阀）VFR-400有机EL制造设备

日本ULVAC爱发科 大摆阀（闸阀）VFR-500有机EL制造设备

这是采用ULVAC独特技术开发的大摆阀（闸阀）。

兼容显示器贴膜设备等大型真空设备。

特征

ULVAC独特的机构

采用独特的密封机构，不具有机械锁定机构和背压取消机构。

极少会产生颗粒的滑动部件。

在打开/关闭操作或密封时几乎没有冲击（振动）。

维护性优良

，无需从泵上拆下阀门即可安装和拆卸阀壳。

只需从壳体上拆下 1 个螺栓即可安装和拆卸阀体单元。

设计允许

在任何地方安装 VFR 系列可以以 360 度的任何方向安装。

目的

• 大型显示制造设备

• 有机EL制造设备

• 其他真空设备的主阀和隔断阀