ULVAC爱发科

日本ULVAC爱发科 大摆阀(闸阀)VFR-500有机EL制造设备

日本ULVAC爱发科 大摆阀(闸阀)VFR-400有机EL制造设备日本ULVAC爱发科 大摆阀(闸阀)VFR-500有机EL制造设备这是采用ULVAC独特技术开发的大摆阀(闸阀)。兼容显示器贴膜设备等大型真空设备。特征ULVAC独特的机构采用独特的密封机构,不具有机械锁定机构和背压取消机构。极少会产生颗粒的滑动部件。在打开/关闭操作或密封时几乎没有冲击(振动)。维护性优良,无需从泵上拆下阀门即可安

日本ULVAC爱发科 大摆阀(闸阀)VFR-400有机EL制造设备

日本ULVAC爱发科 大摆阀(闸阀)VFR-500有机EL制造设备


这是采用ULVAC独特技术开发的大摆阀(闸阀)。

兼容显示器贴膜设备等大型真空设备。


特征

ULVAC独特的机构

采用独特的密封机构,不具有机械锁定机构和背压取消机构。

极少会产生颗粒的滑动部件。

在打开/关闭操作或密封时几乎没有冲击(振动)。

维护性优良

,无需从泵上拆下阀门即可安装和拆卸阀壳。

只需从壳体上拆下 1 个螺栓即可安装和拆卸阀体单元。

设计允许

在任何地方安装 VFR 系列可以以 360 度的任何方向安装。


目的

  • 大型显示制造设备

  • 有机EL制造设备

  • 其他真空设备的主阀和隔断阀




首页
产品
新闻
联系