日本ULVAC爱发科 大摆阀（闸阀）VFR-400有机EL制造设备
日本ULVAC爱发科 大摆阀（闸阀）VFR-400有机EL制造设备这是采用ULVAC独特技术开发的大摆阀（闸阀）。兼容显示器贴膜设备等大型真空设备。特征ULVAC独特的机构采用独特的密封机构，不具有机械锁定机构和背压取消机构。极少会产生颗粒的滑动部件。在打开/关闭操作或密封时几乎没有冲击（振动）。维护性优良，无需从泵上拆下阀门即可安装和拆卸阀壳。只需从壳体上拆下 1 个螺栓即可安装和拆卸阀体单元。
日本ULVAC爱发科 大摆阀（闸阀）VFR-400有机EL制造设备
这是采用ULVAC独特技术开发的大摆阀（闸阀）。
兼容显示器贴膜设备等大型真空设备。
特征
ULVAC独特的机构
采用独特的密封机构，不具有机械锁定机构和背压取消机构。
极少会产生颗粒的滑动部件。
在打开/关闭操作或密封时几乎没有冲击（振动）。
维护性优良
，无需从泵上拆下阀门即可安装和拆卸阀壳。
只需从壳体上拆下 1 个螺栓即可安装和拆卸阀体单元。
设计允许
在任何地方安装 VFR 系列可以以 360 度的任何方向安装。
目的
大型显示制造设备
有机EL制造设备
其他真空设备的主阀和隔断阀