VLHーSB040CH真空角阀 真空冷冻干燥领域日本ULVAC爱发科
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日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHーSB080KC
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VLHーSB016CH真空角阀 真空冷冻干燥领域日本ULVAC爱发科
VLHーSB040CH真空角阀 真空冷冻干燥领域日本ULVAC爱发科
ULVAC 的真空阀是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。
我们的产品阵容可以满足从大气压到极高真空的各种需求。
特征
SUS角阀可烘烤至150℃。
连接法兰有四种类型可供选择:JIS-VF、ISO-KF、ISO-K 和 ISO-CF。
提供双作用和单作用驱动系统。如果是单作用类型,则只需要一根压缩空气管路。
材质为不锈钢。 (但是,VLP-U 是铁制的,VAP、VAH 和 VFR 是铝制的。)
模型 | VLB-SA |
阀板允许最大压差(正压/反压)MPa | 0.10 |
阀门开启时最大允许压差(正压/反压)MPa | 0.10 |
阀板密封方式 | 〇环 |
轴封方式 | 〇环 |
驱动系统 | 双作用气缸 |
泄漏量(外部)* 1 Pa・m 3 /s | ≤1.0E-10 |
泄漏量(内部)* 1 Pa·m 3 /s | ≤1.0E-10 |
工作压力范围(绝压)Pa | 大气压~1.0E-5 |
烘烤允许温度(静止时)* 2 ℃ | 主体:150 * 3,驱动单元:70个(传感器:60个) |
使用环境温度℃ | 5-70(传感器:5-60) |