日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHｰSB160KC
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日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHｰSB080KC
日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHｰSB100KC
日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHｰSB160KC
ULVAC 的真空阀是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。
我们的产品阵容可以满足从大气压到极高真空的各种需求。
特征
SUS角阀可烘烤至150℃。
连接法兰有四种类型可供选择：JIS-VF、ISO-KF、ISO-K 和 ISO-CF。
提供双作用和单作用驱动系统。如果是单作用类型，则只需要一根压缩空气管路。
材质为不锈钢。 （但是，VLP-U 是铁制的，VAP、VAH 和 VFR 是铝制的。）
规格
| 模型 | VLB-SA |
| 阀板允许最大压差（正压/反压）MPa | 0.10 |
| 阀门开启时最大允许压差（正压/反压）MPa | 0.10 |
| 阀板密封方式 | 〇环 |
| 轴封方式 | 〇环 |
| 驱动系统 | 双作用气缸 |
| 泄漏量（外部）* 1 Pa・m 3 /s | ≤1.0E-10 |
| 泄漏量（内部）* 1 Pa·m 3 /s | ≤1.0E-10 |
| 工作压力范围（绝压）Pa | 大气压～1.0E-5 |
| 烘烤允许温度（静止时）* 2 ℃ | 主体：150 * 3，驱动单元：70个（传感器：60个） |
| 使用环境温度℃ | 5-70（传感器：5-60） |